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2001年增刊 压电与声光
文章编号：1004·2474(2001)S0-0253·03
PZT膜式微驱动器的谐振特性
程晋荣，彭东文，孟中岩
(上海大学材料科学与T程学院．上海201800)
3
统测量了虞式微驱动嚣的谐振频率、弯曲位移等特性，井比较了两种蛄构微驱动器的动态工作特性．实验蛄果表明
PZT逆压电效应与NiTiSMA的伪弹性效应耦舍，从而设计制备位移量大，响应快的PZT／NiT[膜式微驱动器是可能的．
关键词：PZT；模式微驱动嚣；弯曲位移
中围分类号：TP284 文献标识码：A
X
PZT
Resonance of MembraneMicroactuator
Properties
CHEN
Jin-rong，PENGDong-wen，MENG
Zhong-yan
ofMaterialsScienceand University,Shahghai201800，China)
(School Engin∞ring,Shan曲ai
Abstract：The PZTthinfilmswere on
piezoelectric preparedPffTi／Si02／Si(100)andNiTiYTUSi(100)substrates
respec·tively
theinverted PZT／NiTi／Ti／Si
order(IMO)Sol·Gel onthePzT，P仉1，Si02，Siand
byusing mixing techniques．Based multilayer
PZT／NiTi membrane and
and micro-actuatorswere resonance
structures(PZT／Si fabricated．The
structures)，the frequencies
deflections
dynamic ofthemicro·actuatorsweremeasuredand resultsindicated
comparedsystematically．Theexperimental
thattheinverse and couldbe each thenis to anovel
it
pieyoelecⅡicitypseudo·elasticity other,and
coupling possibledevelop
ofPZT／NiTi micro-actuators
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