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激波风洞微压传感器研制 汤世友杨晓琳陆蕾 中国空气动力研究与发展中心超高道所 开展的一些新塑重点型号 风洞中高平衡压力条件下 力相对较差，因此，我们 果．由于设计过程中采用 r多项优化措施，使得该传蓐器具有体积小．结构新黛。灵敏度及精度高．抗振动干扰及过麓 能力强等特点·较好地满足了多项型号试验任务的需要·1 关t词激波风洞：模型：平衡压力；压阻传巷嚣；压电转蓐器 ‘ 引言 随着藐一乱空航天事业的不断发展．在我所中2米激波风洞上开展的一些新型重点型 号试验对模型表面压力测量提出了越来越高的要求，其脉动压力值最低达lOOPa。但平衡 压力却高达0．1llPa以上．如何提高激波风洞中高平衡压力条件下口哺弱脉动压力测量精 度是研制该传感器的主要技术难点。在设计过程中．考虑到压阻传礴器过载能力相对较差． 我们采用了过载能力较强的压电传感器。由于设计过程中采用了多项优化措施，使得该传 感器具有体积小，灵敏度及精度高。结构新颖，过载能力及抗干扰能力强等特点．特别适 合高平衡压力条件下的徽弱脉动压力测量，较好地满足了多项型号试验任务的需要。 1传毒矗设计 1．1性睫指标 ： 根据实验任务的具体，g求，传感嚣主要性能指标如下 量程： 100Pa～20l中B： b．过载能力： 100％： C．灵赣度：≥200pCIKPa, d．i非线性谩差： ≤O．56瞄O； e．上升时间z S10伊； f．固有频率： ≥lO坶lz． g．最大外径： 07．5∞； 2．2结构设计 (1)结构设计 由于受均布载荷弯曲型压电式压力传感器具有灵敏度高，加工方便、线性度和抗振动 干扰能力强等优点已坡广泛应用于激波风洞中．根据传感器主要性能指标要求，其结构也 采用弯瞄受．力孽单元采用不锈钢圜平膜片，t感材料采用高稳定压电陶瓷．其工作原理 见图1，图l(8)是传感器测压单元理论横型．图1(b)是膜片与敏感材料组合板受力变形。 由于传感器量程较低，要求灵敏度很高，受使用环境限制。要求体积也较小．因此，该倍 感器采用一种比较新颖的单腔双膜结构，即传感器由两个互相独立的敏感单元组成，电气 并联输出，采甩这种结构可成倍提高传感嚣灵敏度．传感器结构原理图见图2。 l—妨护罩2．承压鏖3一膜片4一压电膏瓷 圈1■压传‘■工作原理田 曲2蠢压件蒜■螬抽箭田 (2)膜片设计 弯曲型压力传感器的设计计算相当复杂。为了全面兼顾灵敏度、结构尺寸大小、线性 度和强度、迟滞之间的相互关系，尽可能使传感器性能达到最优．在膜片设计过程中．我 们仍然采用文献[1]中的设计计算方法。即按嫒牲度设计平膜片的方法就可确定膜片半径 尼，膜片厚度由， (3)敏感元件设计 从文献[2]可知，当膜片厚度也确定后，h,／h,取较小值，印采用犀膜片、薄压电元件 的方法．此种方法不仅注重提高压电元件与膜片粘贴表面的威力．也注重压电元件上下表 面应力处于同一符号状态。因此，它实际上是提高压电元件厚度方向的平均应力．而不是 单纯追求量大应力，以提高传蹲器灵敏度．这样．传感器就具有较强的超载能力．对于具 有高平衡压力的激波风洞．选择这种方法比敦合适．报据压电舟瓷材料目前的加工性能即 可确定敏蒋材料厚度^， 根据文献[3]中推导的弯曲型压电式压力传感器灵敏度计算公式可知，结合本传感器 结构特点，传感器灵敏度计算公式为 a，=：x等(纛)2碍(1+p)(，一菁卜。 ㈦·， 式中：“一传感器灵敏度一pC／KPa=