脉冲激光沉积羟磷灰石成膜的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 原 子 与 分 子 物 理 学 报 ， 17 3 Vol.17 № .3 年 月 ， 2000 7 CHINESEJOURNALOFATOMICANDMOLECULARPHYSICS Jul. 2000 文章编号： （ ） 长春“全国原子分子物理与高压物理、高压合成学术讨论会”论文 1000-0364200003-0537-04 99 脉冲激光沉积羟磷灰石成膜的研究✷ 王 锋，金明星，刘 航，王 卉，刘冰冰，丁大军 （吉林大学原子与分子物理研究所，超硬材料国家重点实验室，长春 ） 130023 2 摘要 ：使用 激光（脉宽为 ，能量密度 ／ ），以钛合金作衬底，在温度为 266nm Nd-YAG 4ns 2Jcm 条件下，分别选择真空、 、 、 气为沉积环境进行 薄膜的制备，并通过红 400~450࠷ ArO H O HAP 2 2 外光谱、 光谱、原子力显微镜对所获得的 薄膜进行表征。测量分析表明：在该温度 Raman HAP 下，我们用脉冲激光法沉积出的 HAP薄膜均匀性 良好，表面无剥蚀和层断，薄膜呈非晶态和结 晶态的混合物；水蒸汽的存在对 HAP薄膜结晶程度有重要影响。 关键词：羟磷灰石（ ）；脉冲激光沉积；薄膜制备 HAP 中图分类号： 文献标识码 ： O432.12 O484.1 A 1 引言 生物陶瓷材料 羟磷灰石（ ）（分子式 （ ）（ ））是人体骨骼的主要成分， - HAP Ca PO OH 10 4 6 2 具有优异的生物相容性，极易于组织细胞在其表面生长。把羟磷灰石沉积在金属表面成膜， 既结合了其高度的生物相容性，又充分利用了金属的高机械强度、高延展性的优点，因而在 生物、医疗领域特别是在矫正术、骨创伤修复、心血管、牙齿移植等方面有极好 的应用前 ［］ ［ ］ 景 1 。于是离子体法、离子溅射、烧结法、水热合成法 2~5 等各种方法大量用于羟磷灰石薄 膜的制备和研究，但是制备出的薄膜往往存在着许多问题，如表面剥蚀和层断、力学性能差、 生物相容性差、制备过程不易控制等。近年来发展出的脉冲激光沉积法由于具有可制备出 ［ ］ 均匀结晶的 薄膜及其 ／ 配比可调整性等优点，受到了广泛关注 6~8 。 HAP CaP 本工作着重于用脉冲激光沉积法实现羟磷灰石薄膜的制备，探讨在 400~500࠷下薄膜 沉积过程中反应气