不同晶粒形状材料力学性能的研究.pdfVIP

维普资讯 航天制造技术 #OO6耳 月第2期 不同晶粒形状材料力学性能的研究 北京航空航天大学机械工程及 自动化学院 李刘合 金 杰 刘惊涛 梁进智 张彦华 中国原子能科学研究院同位素研究所 于 涛 香港城市大学 朱剑豪 摘要 采用有限元的方法来模拟纳米压痕实验的加、卸载过程，采用的是简化的二维模型，有限元模型考 虑了纳米压痕的标准Berkovich压头，介绍了有限元模型的几何参数、边界条件、材料特性与加载方式。从所 得到的载荷与压入深度的关系曲线，以及由此计算而得到的硬度一位移曲线等为依据，对在纳米压痕测试过程 中，不同的晶粒截面形状以及截面面积对整体材料的力学性能的影响进行了分析讨论。研究表明，在晶粒截面 面积相等的情况下，当纳米压痕实验压入相同的深度时，晶粒的截面形状为矩形的材料的硬度高于晶粒的截面 形状为三角形的材料的硬度，而且，当晶粒的截面形状相同的情况下，整体材料的硬度与晶粒截面面积存在一 种近似的正比例关系。这种研究结果说明，即使在材料相同的情况下，如果晶粒的截面形状不同，由于力学传 递关系的不同，仍然能够使得薄膜具有不同的宏观力学性能。 关键词 纳米压痕 力学性能 有限元分析 1 引言 技术的压入结果。因此，本文拟采用有限元方法对两 种不同截面形状的理想晶粒排布的TiN膜进行纳米压 材料的宏观力学特性，是 由其微观结构决定的。 入过程 中晶粒应力应变分布情况分析，并采用有限元 对于薄膜材料，特别是用于保护层的薄膜材料，由于 模拟方法，得出不同截面晶粒形状下晶粒的纳米压入 膜层厚度方 向包含的晶粒有限，有时甚至是单层晶 的位移一载荷曲线和硬度一位移 曲线，从理论上获得 了 粒，受载荷后，膜层凹陷变形相对于膜层厚度足够大， 两种膜层的宏观硬度值。进而讨论不同截面形状晶粒 因此，晶粒形状、种类、排布也极可能会对薄膜材料 对薄膜宏观硬度的影响，并试图获得影响规律。 力学性能产生很大的影响。因此，除了考虑到晶粒细 化之后，其尺寸效应、结构缺陷等对晶粒的宏观力学 2 FEM有限元模拟 性能的影响之外，晶粒形状通常在薄膜的宏观力学性 能中起着重要的作用¨】。但是，由于直接进行微观 2．1 问题简化及模型的建立 尺寸晶粒的观察 比较 困难 ，尤其是纳米 晶粒，晶粒本 在纳米压痕过程 中，压痕附近材料将产生局部的 身力学性能的表征十分困难，其表征方法也正处于研 大塑性变形，并且压头和材料间存在接触 问题，因此， 究阶段。因此，前人在对纳米晶粒形状对材料本身力 这是一个既具有物理非线性、几何非线性又具有边界 学性能的影响方面所做的工作还很少，本文试 图从纯 条件非线性的三重非线性的复杂问题 1”【。且压头形状 力学的角度，分析同种材料下，两种不同截面形状的 不同，所引起的接触问题也不一样。本文所讨论的晶 晶粒对材料的宏观力学性能的影响。 粒对力学性能的影响，模拟采用常用的Berkovich压 由于薄膜尺寸非常薄，薄膜的力学性能评定方法 头。Berkovich压头是三棱锥．使用圆锥压头的剖面图 有限，其中，最常用、最可靠的方法应该是纳米压痕 显得清晰且不影响该问题的说明，其形状如图1所示。 技术。纳米压痕技术是通过压头对材料表面加载，然 纳米压痕测试是一个非常局部的材料测试方法，按照 后测出压痕区域，以此来评价材料力学性能。前人的 圣维南原理，被测材料中的应力和应变只是集中在压 工作表 明I41J，有限元方法可 以有效模拟出纳米压痕 痕附近