扫描电镜中的图象处理技术及应用.pdfVIP

扫描电镜中的图象处理技术及其应用 孔明先陈莉 (参量十一丹学眈曩锋着理并j■■‘230031) ■要木克囊1眈地舟岛了扫描电镌竹^．1辱疆重特点．以及扫描电莨的盘宇一囊鼬囊曩采， ● 并戗KYKY—AMR^Y—lo∞B扫描电镌为悄，说啊了计善机以及联粕■毫摹毒^ 砖客著中曲应用． 美—一，扣铺惠子王曩麓t字盈采取机木戈f计算机’ 、 1 ’ h 八 吣 一、前言 扫描电羹鼍一种多动能睡寰薯分折量鬟曩，特囊董宣于爵究一些寰lE摹嚷，麴簟■睡曩和 膏饿辱·饭鼍赛豢蝴霉可知·扫描电■量以电子柬作为曩明镖。把鬃杈幡壤囊时电予柬以 光●状扫攘身灸冀静搠试洋士，产生各种同藏样牲羹有暮的辅意，然后知I{^收泰飘处疆，从而 臻番簟矗荔羹慧大量的曼歙t． 謦寒拽舞零梆发展，出嚣了冉计算机控奠的扫描电t，并把戴事花傅囊的奠存●技术 虚扁冀封播电蠢的圈纛记录墓统中，相应发晨了一种新的圈象记录系统．称为效字圈象记录系 统t而由选种纛毵所记录的图象称为敦字圉象． 奉文讨沧了在KYKY一枷tAY—l∞晤打籍皂镜上，通过计算机实现敦字墨纛处理技 术的方法． 二、扫描电镜的信号处理及成象系统 扫描电■的成象信息来自电子与 扫■乜千束 ■鬟相互柞舟．信号处理的目的是人 工控囊重象前树炭以改善田象的蔹 量，实j瞳各种黪臻田象静显示以获得 更多螗I参毒努I￡冀瓣．打艟电子量囊 ■的售确蔫脚基样晶所获舞曲信息 电乎蔫篱，热葑霉枞应用电子掌信号 雉曩瓤奄予对葬巍鸯!处理提毫圈纛的 嗣】扫藿电子五擞筏威泰过程曲示意圈 l肄·或聋甩参势方式去显栅象．扫描电t的威蕞薄程如图1所示． 鼍过僖孽处曩系统，人为她改变交藏期直藏两舔努崭占的出倒，或对各神图象信息进行混 合和运算娃理·量后把处j单后的槐敖信号按一定的时间常投输出，甩来控镌显象譬曲栅援(亮 廑j一翻)蓐扳撮(擐膏调制)．就可以获得一帽受视援信号电压{空制的图象． —一二二。‘一。备可—槲』立城一 三、扫描电镜的数字匿象处理技术 ‘ 1．●隧 。． 70年代扫描电髓的图象记录方法郝是把从检捌嚣接收翻盼电子信意，寿囊攮蘸纛为囊竣 变化的视囊信号电压(模拟量)，拣后果用蝴篮规+兔学曩相撬’的系境束记摹赣蠢；曩靠把 这种记录景筑称为簟报图象记囊囊统．面把光学厦相所耨封蒋墨泰嚣为摸攘舞纛^|鞠嘲_玲囊 啊，其报田冬记囊最统具有如下缺点。(1)当把电子信息转壹为囊拟量时，会丧失—帮叠有用盼 钓羹鳍格静信息I(2)不能在最大限度上克鼍在成^僧意中所强人的囔膏I(3)不便詈髓赡各静 电子光学因素对戚蘩质量的不和髟响I“)墨相乳胶本身存在的曩牲般捌了晨格记摹墨^盼分 辨率． 因此，采用摸扳图象记录系统根难进一步改善噩纛的质量，必须寻求新的爵象记录方法． 敦字翻象记录的特点是。把组成一幢图象的每一象元的信号叠度用离教的敦字■来寰录．并接 一定的矩昝捧列方式在计算机的存储器中记录下来．实践表嘲敦字田象记录系统具杏如下优 点。(1)在扫描电■中，入射电子与物质相互作用所产生的信息本身是电子信息，故直接记录电 子信息是量合理的I(2)把来自物质的电子信息直接进行模数变换、渊量和镄存，可I；【量犬限度 地保存更多有关■质结构的信息l(3)把一棱图象俺存在蠢盘中只需用几秒钟就完成(葡麓扳 田蠢相比，后者皓摄相记录时间遗常需要10s至100。)，迅速可幸I(4)所记录的田象可以直接 用计算机进行各种图象处理，以获得一峻高质量的圈象I(5)当对图象进行计算机娃瑾时，既可 以采取袋机处理方式，也可以采取联机处理方式，灵活方便