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张妹玉 陈 朝
厦门大学物理系 福建 厦门
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摘要 回顾了异质结光晶体管 ’( 在近年来的重要进展 综合分析了’( 的工作原理以及
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影响其性能的主要参数 综述了不同材料制作的’( 的研究现状 得出了目前限制’( 发展
的主要因素及当前应重点解决由于基区表面复合等效应导致的增益下降和由于结电容的充放电
限制的响应带宽等问题的结论%
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关键词 异质结光晶体管 异质结双极晶体管 光电探测器
中图分类号! -75!#85 -759 文献标识码! 2 文章编号! %9: %/6::9 (!9 # 9/!:5/9
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光二极管和 要利用相同的外延层 所以
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% 引 言
外延结构必须兼容两个器件的性能! 给工艺带来一
在过去的 多年里! 光电集成电路 # 定的难度! 导致对器件性能上的限制* 是利
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的研究主要集中在光接收器上$ 最简单的光接收器 用雪崩倍增机制实现探测和增益的! 但它工作电压
是用光探测器将输入的光信号有效地转换为电信 高+ 雪崩噪声大! 另外与+,- 兼容性差! 制造工
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