ProdigyICP技术应用.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.75千字
约 3页
2017-08-12 发布于重庆
举报
版权申诉

ProdigyICP技术应用.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

ProdigyICP技术应用.pdf

Prodigy ICP ICP QC ICP Prodigy ICP FBI FBI Prodigy ICP 1. Prodigy ICP 2. Prodigy ICP Macro 266 5-1000µ Macro 266 Prodigy ICP ICP 1 ICP Operating Conditions RF Power 1.1 kW Viewing Configuration Axial Plasma Gas 20 L/min Auxiliary Gas 0 L/min Carrier Gas 0.44 L/min (Argon) Laser Cell Gas 0.54 L/min (Helium 1 Laser Operating Conditions Aperature 610um x 610 um square Defocused V-knob 1.2 marks (~ 800 um) Power 4.4J/cm2 (60% power – in focus) ~3.3J/cm2 final Frequency 10Hz Scan Speed 150 um/sec Line Length 2000um with Multiple passes ProdigyICP L-PAD 165-1100nmICP Prodigy ( ) ICP PbProdigy 3 4 5 2 Prodigy ICP 3