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冷等离子体对硅粉薄层的提纯研究 冯信华　何笑明　陈　丽　尹　盛 周海云　赵　宁　李　忠　王敬义 (华中理工大学能源学院, 武汉 430074) 　　摘要　给出了冷等离子体对作为阴极的硅粉薄层的提纯方法及装置、提纯结果和规律。实验表明, 在氮化氢气氛下, 不仅可以除去95% 以上的许多过渡金属杂质, 还可以除去许多非金属杂质。这种提纯 硅的方法在研制太阳能电池材料方面具有好的应用前景。 关键词　冷等离子体　纯化效应　廉价硅材料 Study on Pur ity of Si Th in Layers Trea ted by Cold Pla sma Feng X inhua , H e X iaom ing , Chen L i, Y in Sheng, Zhou H aiyun , Zhao N ing , L i Zhong , W ang J ingyi (S chool of E nergy S cience and E ng ineering , H uaz hong U niversity of S cience and T echnology , W uhan 430074) 　　Abstract　T he pu rity m ethods and system , resu lts and law s of Si th in layer w h ich w ere fixed on cathode of the system treated by co ld p lasm a are p rovided in th is paper. T he experim en t show s that no t on ly m o re than 95% of m any tran sition m etals can be , . rem oved bu t also a lo t of nonm etal im pu rities can be decreased in the Si layers T h is . pu rity m ethod of Si w ou ld be u sed in p ro spect of the p reparation of so lar cell 　 　 　 Keywords Co ld p lasm a Pu rity effects L ow co st Si m aterial ) 池而言 的硅材料, 从石英石到6 硅提纯技术 N 1　引　言 已开发出20 余种, 目前仍在探索新的廉价技 硅的提纯方法已研究了很长时间, 许多经 术。　　　 济可行的技术已获得推广应用。一般来说所采 我们在研制薄膜的过程中, 发现冷等离子 用的提纯技术依硅所要求的纯度而定。对于纯