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( ) Vol.37 No. 1 第37卷 第1期 江汉大学学报 自然科学版 ( ) 2009年3 月 Journal of Jianghan University Natural Sciences Mar. 2009 几种典型湿度传感器的原理和概要分析 韩悦文 (长江大学 物理科学与技术学院，湖北 荆州 434023) 摘 要：湿度是一个重要的物理量，航空航天、计量等许多环境中需要在高温下进行湿度的测量．目 前用于低温下测量的湿敏传感器主要有3 类: 电解质湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器和有机高分子聚 合物湿度传感器．对湿度传感器的几种典型原理作了简要介绍，概要分析了湿度传感器用于高温测量的 发展趋势． 关键词：湿度传感器; 高温; 光纤传感器 中图分类号：TP2 12.14 文献标识码：A 文章编号：1673-0143 2009 01-0033-04 度的公式为 0 引言 e m w = = , Rw T V 很多行业中，如发电、纺织、食品、医药、 式中e- 蒸汽压，单位Pa ；R - 水的气体常数为461.52 仓储、农业等，对温度、湿度参量的要求都非常 w ) J/ kg K ；T- 温度，单位K ；m - 空气中溶解的水的 ( ) 严格．目前，在低温条件下 通常指100℃以下 ， 3 质量，单位g；V- 空气的体积，单位m ． 湿度的测量已经相对成熟，有商品化产品，并广 ( ) 1. 2 相对湿度 RH 泛应用于各种行业． 相对湿度是绝对湿度与最高湿度的比值，表 另有许多行业需要在高温环境下测量湿度， 示水蒸气的饱和度．相对湿度为100 % 的空气就 如航空航天、机车舰船、发电变电、冶金矿山、 是水蒸气饱和的空气．相对湿度同样也与温度联 计量科研、电厂、陶瓷、工业管道、发酵环境实 系起来才有意义．通过相对湿度和温度也可以换 验箱、高温实验箱、高炉等场合．这时，湿度测