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静电聚焦的微机模拟.pdf

第 11卷 第 4期 齐齐哈尔师范学院学报 (自然科学版) 1991年 12月 JournalofQiqiharTeachelS’College(NaturalScience) c7 静 电聚 焦 的微 机 模 拟 商 广 君 和 存 立 - — — — _ _ _ ● _ _ 一 1 \03- (物 理 系) (石油部施工技术研究所 ) 摘要 本文提 出了一种微机模拟静 电聚焦的方法,给出了模拟结果. 关键词 静 电聚焦 计算机模拟 0 引言 电真空器件的典型聚焦电极是两个同轴的金属圆筒,其电场以筒轴为对称轴呈空间对称 分布,取 电极的纵剖面如图1所示.理论分析表明 (详见另文),当月。6/2时 (忽 略 上 下部分的相互影响),轴线上下两部分电场的电力线分别为一些同心的半圆,半圆的半径之 差等比例地增大,如图2所示,当Rob/2时 (上下两部分相互影响不能忽略 ),电力线方 程不易写出,电场结构也难于描绘.利用微型计算机可使这一问题得到令人满意的解决,同 时可摸拟电子束聚焦的动态过程 1室 。 ’ 2 P 。 p 口 .. I . l,一 … t , 图1 电极吾0面囱 图2 R。6/2时电力线 1 微机模拟方法 1.1 场结构模拟 本文 1991年 5月 6日收到. O 齐齐哈 尔师范学院学j足(自磐科学版 ) 弟ll卷 】.1.1 算 分 泼场 为 。;LptP ,Lp P 分刖为上下极板产生的通过该 点 的 电 力线 (见 3).刖 : o处产生的场强分 } E’ =一A-. 0(0— )/(月0一:)+Y j;(1) 丘’ = 一 ;^ 0t : /[(0一 )。+Y。]. (2) 其中,E。为与屯位爱有关韵场强分量,A为极枥临近 P z———r— 端距离.极板P。P。在 。处产生的场强分量 E1峦 ~ Ey =一 ·0(0+ )/[(月0+ ) +Y。];(3) Ez=A · 。· /[(月0+ ) +Y ] . (4) p2 因此,从 (1), (3)式得总场强分 Ey=Ey Ey … 一 [ 。--Z + 譬每_].

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