激光镜的应用研究.pdfVIP

第22 卷 第6 期 激 光 技 术 Vol . 22, No. 6 1998 年12 月 LA SER T ECH N OL OGY December , 1998 刘兴占 刘向东 ( 清华大学精密仪器与机械学系, 北京, 1000 84) : 就激光扫描技术中关键部件 扫描镜进行了应 研究, 并对其在宽片磁带表面缺陷 的检测系统中所采 的旋转多面体扫描镜进行了理论分析, 推导出多面体扫描镜的设计公式及参 数选择。 : 激光扫描镜 多面体 Using of laser scanning mirror L iu X ingzhan, L iu X iangdong ( Department o f P recision I nstr uments, T singhua U niversity , Bei ing , 1000 84) Abstract: T he o ptical scanning mirror is a key component in laser scanning detection system . T he purpose of the paper is to intro duce the theoretical analysis, parameter selection and design method of the r otator y poly hedro n scanning system . T he fundamental requirements to co nstruct a r otator y polyhedron scanning system ar e much hig h geometry or manuf acture accuracy, very small rotatir y defor mation of the r otat ion components. Finally, this paper discussed the scanning eff ectiveness, and point out t hat the selec tion of scanning eff ectiv eness is in the r ange of 0. 4~ 0 . 6, and how to select other relative parameters . Key words: laser scanning miror polyhedron 随着科学技术的发展及生产中的需要, 激光扫描技术得到了广泛的应 和发展, 尤其在记 录系统、光学文字识别、胶片阅读器、传真机、全息存贮和寻址等方面应 更是显示了其独特的 优点, 即无接触、高精度且容易与电子技术相结合, 而扫描镜是该技术一个关键部分, 我们就从 事的宽片磁带表面缺陷的检测系统中所采 的旋转多面体扫描镜的设计及参数选择进行了分 析研究。 、[ 1, 4] 激光扫描无论是哪种方式, 都要有光学偏转器。实现此功能 的有振镜扫描、声光扫描、电光扫描和旋转多面体扫描。目前以旋 转多面体扫描应 最广泛。 1旋转多面体的优点: ( 1) 扫描角度大, 通常可大于30 。( 2) 在较长的扫描宽度上具有高的分辨率, 大约为20 ~ 1000Line/ Fig . 1 T he geometry rela mm 。( 3) 反射面镀全反射膜、反射率高、光能损失小。( 4) 实现扫 tion