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简述电涡流位移传感器的工作原理.pdf
仪器校准：
一种电涡流位移传感器动态指标校准装置
黄 菊，张国威，马会文
（酒钢集团检验检测中心，甘肃，嘉峪关， ）
735100
仪器校准：
摘 要： 文章简述电涡流位移传感器的工作原理及衡量其计量性能的指标， 着重介
绍了利用本实验室已有的中频振动标准装置， 通过加装固定支架， 组成动态指标校准装
置，实现电涡流位移传感器动态指标的校准。
关键词： 电涡流位移传感器；动态指标；固定支架；校准
An Apparatus for Calibrating the Dynamic Indicators of
Eddy Current Displacement Sensor
HUANG Ju, ZHANG Guo-wei, MA Hui-wen
(Inspection and detection center of Jiuquan Iron Steel Group Co. Ltd, Jiayuguan, 735100, China)
Abstract: The paper has described the working principle of the eddy current displacement
sensor and indicators which measure the metering performance of the eddy current displacement
sensor briefly. It focuses on using the existing intermediate frequency standard vibration device
and a fixed brecket to make up an apparatus for calibrating the dynamic indicators of eddy
current displacement sensor.
Key Words: eddy current displacement sensor; dynamic indicators; the fixed brecket;
calibration
程》[1] ，衡量电涡流位移传感器计量性能的指标有
1 引 言
静态指标（灵敏度、幅值线性度、回程误差、幅值
电涡流位移传感器能静态和动态地非接触 重复性、零值误差、温漂、幅值稳定度）和动态指
地连续测量被测金属导体距探头表面的距离， 标（参考灵敏度、频率响应、幅值线性度）。 目前绝
它具有长期工作可靠性好、测量范围宽、灵敏度 大多数情况下只做了静态指标的标定，而忽略了
高、分辨率高、响应速度快、抗干扰力强、不受油 动态指标，造成传感器性能评定不全面，使得传
污等介质的影响、结构简单等优点，常被用于大 感器测试数据的准确性、可靠性降低。 对于电涡
型旋转机械的轴位移、轴振动、轴转速等参数进 流位移传感器动态指标的标定目前一般使用动
行长期实时监测， 分析设备的工作状况和故障 标器或振动台。 动标器是由微电机带动斜面圆盘
原因，有效地对设备进行保护和预测性维修。 或者偏心轮旋转以产生频率可调的振动源，电机
参照JJG644-2003《振动位移传感器检定规 带动斜面圆盘或偏心轮旋转一周就能得到一个
仪器校准：
仪器校准：
输入脉冲[2] 。 其缺陷
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