面向MEMS的微细加工技术.pdfVIP

综述 专稿 !∀2001 5 MEMS 罗 均 谢少荣 龚振邦 MEMS 技术将是21 世纪科技与产业的制高点之一, 而微细加工技术又是MEM S 发 的重 要基础微细加工技术在传统光刻工艺的基础上, 又发 了灰调光刻LiftOffLIGA 及准LIGA激光和分 子装配等适应三维结构的新技术本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况, 并介绍 了微细加工技术和MEM S 的发 趋势 Abstract MEMS technology is a hot spot of science and industry in the 2 1st century , and microfabri cation technologies are the key problems of MEM S de elopment . The new microfabrication technologies for 3D structure are in ented, w hich include graytone lithography, LiftOff , LIGA, quasiLIGA, laser