后硒化法制备CIGS薄膜中的元素损失机制.pdfVIP

第 十届 中 国太 阳能光伏会议论 文寨 后硒化法制备 薄膜 中的元素损失机制 ’ ’ ’ ’ ’ ’ ’ ’ 刘玮 孙云 何青 李凤岩 乔在祥 刘 芳芳 李长健 田建国 开大学 学院光 电子研究所 , 开 理学 子 心 天津 , 中国, 南 信息技术科学 南 大学物 院光 学中 、 文通 阻监 法 , 测 , 源 硒 法 元 摘 要 本 过在线电 测方 结合 试结果 研究固态 后 化 制备 薄膜中的 索 损失机制 , 表 明 共存时 叭 结构 中的 阮扩散速率高于 汪留 结构 元素损失率与沉积顺序有 关 同时证实了提高硒化升温速率可有效降低元素损失的比例 , 为降低后硒化法制备 薄膜的元素损失 提供 了理论依据。 关健词 薄膜 , 元素损失 , 硒化过程 , 反应机理 阶 宫 口 二二 黄铜矿型 薄膜作为制备 薄膜 电池 的核心材料 , 是 目前最有前途 的光伏材料 、 。 , ’ 之一 【 制备 薄膜 的主流方法之一是溅射后硒化法 具有沉积速率高 较易实现均匀 的大面积薄膜等 优势 , 适用于大规模生产。 在后硒化法制备 薄膜时 , 元素 依靠扩散进人薄膜 内部 , 当 浓度较低 则导致 , 元 的 气态化 物 或 产生 , 造成元素损失及结晶质量下 降。 为进一 素 贫 合 , , 步确定影 响 薄膜形成 中元素损失机制的主要 因素 本文根据