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热偶计测量O．1
Pa压力与温度关系初探
周庆
(首都航天机械公司，北京100076)
摘要：本文分析了热偶真空计在测量0．1Pa压力时所受的影响，重点分析了温度的影响，指出了热偶规校准温度
与使用温度不同时，精确测量到0．1Pa时存在的误差，为实际工作中热偶计测量O．1Pa压力提供了借鉴。
关键词：热偶真空计热偶规真空度压力 温度
1前言
某真空夹层产品，真空度要求小于o．1Pa且在保持12小时后压力仍小丁o．1Pa，真空度通过产品外
壁焊接的热偶规测得，早晚各测一次真空度。
2产品真空度不合格原因分析
验，产品一般抽空40～50小时即可满足指标)，具体数值见表1。
表1产品真空度实测值表
零件编号：041507单位：Pa
04220423042404250426042704280505
日期 0506
早测 1．6 1．2 0．15 0．13 O．1 1．8 0．13 3．6 0．45
晚测 0．1 0．1 0．16 0．1 0．15 0．12 0．21 0．25 0．31
零件编号：041007单位：Pa
日期 04230424042504260427042805050506
早测 O．25 0．21 0．22 0．18 0．22 0．2 1．9 0．39
晚测 O．1 0．2 0．1 O．1 0．1 0．22 0．24 0．37
针对上述现象，相关人员进行了分析，引起产品真空度不达标的原因主要有三点：1、抽空机组极
限真空度不够；2、抽空系统存在漏气点；3、产品放气量人。分别对上述三点进行了核查，检查结果
如表2所示：
表2真空度不合格原冈排布表
检杏项目 检奄结果 结论
抽空机组极限真空 8．0X10—3Pa 合格
管路、阀I’J、接头的漏率 优丁2X 合格
10—11Pam3／s
产品放气量 材料经超卢波清洗无放气源 合格
多小时抽空，此两tl：J乜品的真空度电不满足技术要求，具体数值见农3
表3产品真空度实测表
零件编号：040707单位：Pa
日期 0521052205230524052505260527052805290530
早测 1．7 0．46 0．48 O．4 0．64 0．48 0．46 0．4 0．39 0．37
晚测 0．15 O．3 0．17 O．16 0．38 0．1 0．27 O．18 0．17 0．25
零件编号：041107单位：Pa
日期 0521052205230524052505260527052805290530
早测 6．7 2．1 1．5 1．0 1．6 1．5 1．4 0．82 0．88 0．45
晚测 0．28 0．48 0．4 0．36 0．6 0．26 0．42 0．38 0．25 0．36
产品每天进行的工作只有抽空、测量，经分析产品没问题、抽空过程没问题，认为问题可能出现
在测量方面。
102pa,-一lX10～Pa，
测量真空度所．Hj的热偶真空计型号为ZDO．5型，量程4X
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