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电式三维力传感器的设计及特性研究.pdf
己口口9年7月
第己日卷第7期
新型压电式三维力传感器的设计及特性研究
许斌秦岚刘俊邓维礼
(重庆大学光电工程学院 重庆400044)
擒要：基于压电效应设计了一种新型三维力传感器，分析了传感器原理。根据传感器的结构，推导了传感器的灵敏度、固有
频率的计算公式；分析了传感器部件参数对传感器灵敏度与固有频率的影响，通过计算与仿真，得到了影响传感器灵敏度与
固有频率的影响因素与规律。计算与仿真结果表明了此计算方法的有效性。
关键词：压力传感器；灵敏度；固有频率
中图分类号：TP21文献标识码：A
of new
andcharacteristicsresearcha
Design type
forcesensorbasedon
piezoelectricity
XuBinQinLanLiuJun Weili
Deng
of
Optoelectronic 400044，Chjlla)
(College Engineering，ChongqhalgUniversity，ChongqillIg
Abstract：T}lis anew three-dimensionforcesensor basedon the
paperprovidestype technology
ofthe the ofthestructure．theformulatOcalculatethe andrlaturaI
theory analysis frequency
sensor．Through sensitivity
ofthesensorisderived effectofthe forthe onthe andthemtural
finally．The parameterscomponentsensitivity frequency
ofthesensorare factorsanditsrulearefound and results
analy冼d。80meinfluencing throughcalculatingsimulating．The
and
of simulationindicatetheeffectivenessofthe method．
computation calculating
Keywords：force
sensor；sensitivity；naturalfrequency
O引言 fQ。=2Qt=2d笔Fx
多维力传感器是实现机器人类人化和智能化最为重 jQp=2Q。=一2d营Fy (1)
要的一种传感器，它是工程力学检测和机器人运动控制的
基础。随着机器人技术的发展，多维力传感器的应用范围 Q=Q+Q．+Q5+Q=型乎
已经越来越
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