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Al_Y共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究.pdf
50 6 ( ) Vol. 50 No. 6
第 卷 第 期 中山大学学报 自然科学版
2011 年 11 月 ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI Nov. 2011
*
Al-Y 共掺杂ZnO 透明导电薄膜制备及光电性能研究
1 1 1，2 1 1
， ， ， ，
阳生红 蒋志洁 张曰理 汤 健 王旭升
(1． / / ， 510275 ;
中山大学光电材料与技术国家重点实验室 物理科学与工程技术学院 广东广州
2 ． ， 250 100)
山东大学晶体材料国家重点实验室 山东济南
摘 要: - ， Al-Y ZnO 。X (XRD)
采用溶胶 凝胶法 在玻璃衬底上制备出 共掺杂的 透明导电薄膜 射线衍射 表
，Al-Y ZnO ， C 。 Al-Y
明 共掺杂 透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜 且具有 轴择优取向 制备的 共掺杂
ZnO 薄膜电阻率最小值为1. 63 × 102 Ω ·cm ，在可见光区 (400 － 800 nm)平均透过率超过85 % 。
:
关键词 Al-Y ;ZnO ; -
共掺杂 透明导电薄膜 溶胶 凝胶
: : :
中图分类号 O484. 4 ;TN304 文献标志码 A 文章编号 0529 － 6579 (2011)06 － 0035 － 04
Synthesis and Optoelectrical Properties of Al-Y Co-doped
ZnO Transparent Conducting Thin Films
YANG Shenghong 1 ，JIANG Zhij ie1 ，ZHANG Yueli1，2 ，TANG Jian1 ，WANG Xusheng 1
(1． State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies / / School of Physics ＆ Engineering ，
Sun Yat-sen University ，Guangzhou 510275 ，China ;
2 ． State Key laboratory of Crystal Material ，Shandong University ，Jinan ，250 100 ，China)
Abstract :The Al-Y co-doped ZnO tranparent conducting thin films were prepared on glass by Sol
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