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CCD 成像探测器 朱耆祥 人类感知外部世界主要是通过视觉、触觉、听 由杂质浓度较低的p 型硅片作衬底，在 p 型硅片衬 觉和嗅觉等感觉器官获取各种信息的，其中约 80% 底上扩散一个 n+ 区形成 p-n 结二极管，即光敏二极 的信息是由视觉获取的。很早以前人们就幻想“千 管。在硅片表面覆盖一层二氧化硅绝缘层，在绝缘 里眼” ，借助于它人们可以看到千里之外的一切。这 层上做有金属铝电极。将绝缘层上的电极施加正偏 一幻想在成像探测器出现以后已经成为现实。到今 压时，在硅片靠近绝缘层附近形成空穴耗尽区。它 天人们不只是看到了千里之外人眼所能看到的一 随正偏压的增大而向硅片内部延伸。这就形成所谓 切，而且可以获取人眼看不到的信息。所有这一切 CCD 的势阱。当光照射到光敏单元上时激发出光电 都归功于成像探测器。 子，由入射光激发的光电子即注入这势阱存储起来。 成像探测器有很多种类，目前应用最多、最广 这样，即实现 CCD 的光电转换和储存。当相邻金属 的是电荷耦合阵列探测器——CCD(Charge Coupled 电极的正偏压不同时，在硅片的对应处形成不同深 Devices)成像器件。1970 年美国贝尔实验室的 威拉 度的势阱，如果对相邻的各电极施加按一定规律变 德·博伊尔和乔治·史密斯首先提出了 CCD 的概 化的偏压时，硅片上相邻的势阱深浅就按一定规律 念，以后又建立了一维势阱模型为基础的 CCD 基本 变化。存放在势阱内的电荷就会随势阱的深浅变化 理论。近四十年的不断发展，到今天 CCD 已经成为 而由浅势阱转向深势阱。这样，当相邻电极的偏压 从哈勃望远镜、登月空间飞行器和火星探测器到我 按节拍由小到大变化时，在势阱内的电荷就会沿势 们日常生活中的很多用具，如手机、电视等都离不 阱由浅至深的方向转移，实现了电荷的转移。 开的成像探测器。CCD 成像探测器像人的视网膜， CCD 的类别和其演变 它和相应的光学系统结合被放在空间、地面、水中、 CCD 成像探测器可按照其结构、工作波段进行 机器中、甚至人体内，代替了人的眼睛，对所有人 分类。按结构的维数分类，CCD 分为线阵 CCD 器 们感兴趣的目标进行观察和记录。提供给人们大量 件和面阵 CCD 器件。 的信息，以进行各方面的分析、考察和使用。CCD 由CCD 的工作原理和基本结构可以看出：CCD 在人类的各项活动中：日常生活、生产建设、交通 是一种阵列式光敏单元组成的器件。最初由于技术 运输、通信联络、安全保卫、医疗卫生、科学研究、 水平的限制，人们仅制造了光敏单元成一维线排列 军事装备等各方面都起到重大的、不可取代的作用。 的线阵 CCD 成像器件。在光敏单元阵列的两边或一 随着 CCD 应用领域的扩大，使用要求的不断 边，安置了电荷转移的转移栅和位移寄存器。在每 增新，其结构性能也不断发展变化以适应不断发展 个位移寄存器的尽头又安置了电荷输出放大器。转 的使用要求。目前已出现了多种 CCD 的结构类型， 移栅是用来将光敏单元光电转换的电荷，由光敏区 从紫外到超长波红外不同波段的探测器。 转移到位移寄存器的。转移栅和位移寄存器都是被 随着使用要求的日益更新，CCD 探测器也面临 遮挡的，只有光敏单元可以接收光照。这就是线阵 着其他类型成像探测器的非常激烈的竞争。也许在 CCD 成