7.7光电式_光栅(改).pptVIP

* * 7.7 光 栅式传 感 器 光栅是由许多具有等节距刻线分布的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件。光栅式传感器有如下特点：1. 精度高。2. 大量程测量兼有高分辨力。3. 可实现动态测量。4. 具有较强的抗干扰能力。 　按原理和用途，分为物理光栅和计量光栅。 1）物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等量的测量。 2）计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物理量。 本节主要介绍计量光栅的原理与应用。 一、计量光栅的结构及工作原理 1. 光栅结构 在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（又称为刻线），这就是光栅。a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光），a+b=Ｗ 称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b= Ｗ/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、 100、250条线条。 　计量光栅按刻线表面的结构可分为幅值光栅和相位光栅。幅值光栅也称为黑白光栅，表面刻线如图所示，其特点是栅线与缝隙黑白相间。相位光栅也称为闪耀光栅，表面刻划如图，其横截面呈锯齿形。 a b Ｗ a b Ｗ 2、光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅（光栅1、光栅2）叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ，这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹。 a a b b 在a-a线上，两块光栅的栅线重合，透光面积最大，形成亮带；在b-b线上，两块光栅的栅线错开，形成条纹的暗带。 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点。 (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个栅距W时， 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度B，如果光栅作反向移动，条纹移动方向也相反。莫尔条纹间距B与栅线夹角θ之间的关系为 a a b b （2） 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。 (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 θ越小，B越大，这相当于把栅距W放大了1/θ倍。说明光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 二、光栅传感器的组成 　　由标尺光栅（主光栅） 、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。标尺光栅的有效长度即为测量范围。指示光栅比标尺光栅短得多，但两者有同样的栅距，使用时标尺光栅固定在被测物体上，且随被测物体一起移动，其长度取决于测量范围，指示光栅相对于光电元件固定。 三、测量电路 　莫尔条纹是一个明暗相间的带。从图中可看出，两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗到渐暗，到渐亮，再到最亮，又从最亮到最暗的渐变过程。 主光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期，只要测出光强变化的次数即能得到位移的大小。若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信号，接近于正弦周期函数， 如以电压输出，即 uo——光电元件输出的电压信号； Uo——输出信号中的直流分量； Um—输出信号中正弦交流分量的幅值。