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扫描电声显微镜及其应用 1. 什么叫扫描电声显微镜 (Scanning Electron Acoustic Microscopy) 2. 扫描电声显微镜工作原理 3. 扫描电声显微镜的特点 4. 扫描电声显微镜的结构 5. 扫描电声显微镜的某些应用 6. 结论 1. 什么叫扫描电声显微镜（SEAM ）？ 扫描电子显微镜（SEM ） 扫描声学显微镜（SAM ） 激发源 恒定电子束 微声束 成像 表面结构、电学性能 弹性性能 分辨率 纳米 微米（与声波波长有关） 成像深度 表面 内部成像 扫描电声显微镜（SEAM ） • 强度受调制的电子束 • 电学和热弹性能 • 电子束束斑尺寸 • 表面和内部成像 SEAM 是把电子显微术和声学显微术集成为一体的一种新型的显 微成像方法 具有电子显微术高分辨率和声学显微术内部成像的特点 工作模式非常类似于普通的SEM 2. 扫描电声显微镜的工作原理 样品吸收受强度调制 产生与入射电子束相同频率的 的电子束能量 热波并在样品内传播 在热扩散长度内转换成同频 检测载有热波信息 的声波 率的声波, 载有热波特性的声 波继续在样品内传播 压电传感器把声波转换 成电信号进行亮度调制 显示电声像 扫描电声显微镜成像原理示意框图 Electron beam Absorption of electron beam energy and local heating source Thermal wave Acoustic wave Specimen EA signal detector 电声成像的物理过程 3. 扫描电声显微镜成像的特点 （1）电声成像机理: 基于试样的电学和微观热弹性能的变化. （2 ）成像的物理过程: 是电－热－声－电之间的能量转换. （3 ）电声成像的分辨率: 电声成像的分辨率主要取决于电子束斑尺寸和热 扩散长度µ=2π(2K/ρCω)1/2, 其中K、ρ、C分别为样品的热导率、密 度和比热. ω=2πƒ表示调制角频率, 所以分辨率与上述这些物理参数 有着密切的关系。不同类型的样品具有不同的热物性,相同的调制频 率呈现不同的热扩散长度, 从而具有不同的分辨率和探测深度。 （4 ）热波穿透深度: 热波与弹性波一样具有穿透本领, 穿透深度与热波信 号的信噪比以及热波波长有关, 大约为分辨率的4倍。当调制频率为 1MHz 时, 在半导体硅片和有机涂层上的穿透深度分别为12µm和 1.2µm 。这里应该注意