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2017-08-12 发布于江苏
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光学表面的光散射测量方法.pdf

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光学表面的光散射测量方法.pdf

22 8 常熟理工学院学报(自然科学) Vo.l 22 No. 8 2008 8 Aug. , 2008 Journal of Changshu Institute ofT echnology( Natural Sciences) 侯海虹 ( , 21 00) : 光学表面的光散射测量方法为目前测量光学元件表面散射特性的一主要技术, 主要包括角分辨测量法和总积分测量法. 本文对上述两测量方法的基本原理和实验装置进行了系统的阐述, 并对两方法进行了比较分析. 最后讨论了散射测量方法发展的趋势. : 测量方法; 光学表面; 粗糙度 : TH7443 : A : 1008- 2794( 2008) 08- 0046- 0 , . , , [ 1- 13] . , , . , , [ 14- 28] . 1 ( Angle Resolved Scattering, ARS) [ 29- 3 ] . , , . , . , , . , , . ARS, , 180 360 , . , . , , . , , [ 36] . 1 . 2 ( Total Integrated Scattering, TIS), : 2008- 03- 21 : ( ky200684). : ( 1976 ), , , , , : . 8 : 47 1 ARS , . - (RootM ean Square, RM S) TIS, TIS. ( cos!) TIS ( 1) 0 4 , TIS RM S. , , , . RM S, . [ 37] TIS. Coblentz , , , Coblentz; , [ 38] , . [ 37] 2 Coblentz , , 2 Coblentz , 193nm 106∀m. 1 7nm . , HeNe , 6328nm. 2 8 Coblentz, . 48 () 2008 , Coblentz. [ 38] 3 TIS . HeNe 30 , . , 30 . , , . , . , . 3 , . R0 , , . , . , .