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光的衍射7.ppt
* 第七节 二元光学元件 (Binary Optical Element，BOEs ) 一、概念 基于光波的衍射理论，运用计算机辅助设计，并运用超大规模集成电路制作工艺，在片基上刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构，形成纯相位、同轴再现、具有极高衍射效率的一类衍射光学元件。随之形成的一门新的学科分支，称二元光学 。 二元光学( Binary Optics )是衍射光学、微光学的主要分支学科，是光学与微电子、微计算机相互融合、渗透而形成的前沿交叉学科。是研究微米、亚微米级特征尺寸光学元件的设计、微细加工技术及利用该元件以实现光束的发射、聚焦、传输、成象、分光、图象处理、光计算等一系列功能的理论和技术。 二、二元光学元件的结构 d γ x x d γ Δh 闪耀光栅 光栅周期d，闪耀角γ 多阶相位轮廓光栅 光栅常数d/N，阶梯深度Δh 相位轮廓化 折射透镜到二元菲涅尔透镜的演变过程 三、二元光栅夫朗和费衍射强度分布及特点 d Δh A B O d 由图得以下关系： 台阶数为N，光栅常数为d 经计算得二元相位闪耀光栅的闪耀条件和衍射效率：
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