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第九章 电感式传感器 1. 电感式传感器是利用线圈自感和互感的变化实现非电量电测的一种装置。 2. 可以用来测量位移、振动、压力、应变、流量、密度等。 3. 特点： （1 结构简单可靠 （2 分辨率高：能测量0.1mm （3 零点漂移小 （4 线性度好 9.1电感式传感器 一、工作原理（自感式传感器工作原理） 二 、电涡流形成范围 1．电涡流的径向形成范围 （1）电涡流径向形成的范围大约在传感器外径 1.8~2.5倍范围内，且分布不均匀。 的 （2）电涡流密度在短路半径r=0处为零。 （3）电涡流的最大值在 附近的一个狭窄区域内。 （4）可以用一个平均半径为 [ ] 的短路环 来集中表示分散的电涡流 。 2．电涡流强度与距离的关系 — 线圈的激励电流 — 金属导体中的等效电流 — 线圈到金属导体表面距离 — 线圈外径 结论： （1）电涡流强度与距离 是非线性关系。 （2）当利用电涡流式传感器测量位移时，只有在 （0.05~0.15）的范围内才能 得到较好的线性 和较高的灵敏度。 3．电涡流的轴向贯穿深度 由于趋肤效应，电涡流沿金属导体纵向H，分布是不 均匀的，其分布按指数规律衰减， 可用下式表示： — 金属导体中的某一点与表面距离 — 沿 轴向d 处的电涡流密度 — 金属导体表面电涡流密度，即电涡流最大值 — 电涡流轴向贯穿深度（趋肤效应） 当 = 时， 由 可知 被测电阻率 越大， 越小， 越小，则电流贯穿 深度越大。 四、测量电路 将传感器与被测物体间的距离变换为传感器的 值 , 等效阻抗 和等效电感 ，用相应 的电路来测量。 （一）载波频率改变的调幅法和调频法 调频式测量电路 例9.1 利用电涡流法测板材厚度。已知激励电源频率 ，被测材料相对磁导率 =1，电阻率 ，被测板厚为 ， 要求：计算采用高频反射 法测量时，涡流穿透深度h 为多少？ （2）能否用低频投射法测板厚？若可以需要 采取什么 措施？画出检测示意图 解：（1）高频反射法求涡流穿透深度 a. 高频反射法 b. 低频透射法 （2）若采用低频透射法需要降低信号源频率。 9.3 电感式传感器的应用 一、电感式传感器的应用 * * 变隙式 变截面式 线圈 2. 铁心 3. 衔铁 线圈匝数 — 磁路总磁阻 — —铁心磁路总长 —铁心磁导率 —衔铁的磁路长 —衔铁的磁导率 —气隙磁通截面积 —真空磁导率 —铁心横截面积 —空气隙光长 —衔铁横截面积 = ， 2. 输出特性 可以证明，电感灵敏度为： —磁路总长 线性度： 增大和减小 时， 和 不相同， 即电感变化是不对称的， 故只能适用于微小位移测量。 如果采用差动变隙式电感传感器， 则灵敏度提高一倍， 线性度提高一个数量级。 差动变隙式电感传感器 变气隙式电感传感器位移行程很小，一般 =0.1~0.2 =3% 差动式： =2mm， =0.2~0.4mm 较大行程位移测量，常用的螺管式电感传感器 = 3.差动螺管式电感传感器 测量范围为（5~50）mm， 特点： 结构简单，制造装配容易 2.灵敏度低，但线性范围大 3.磁路大部分为空气，易受外部磁场干扰 9.1.2 互感式电感传感器 1. 差动变压器 当磁芯处于中心位置时， = = =0 当磁芯上升时： 当磁芯下降时： 将输出电压改写为： 差动变压器灵敏度系数： 输出阻抗： 二、差动变压器的零点残余电压 1．产生零点残余电压的原因 （1）基波分量 由于差动变压器两次级线圈不对称， 自感L不相同 。 互感M、损耗R、 （2）高次谐波 由导磁材料磁化曲线的非线性引起。 2．消除零点电压方法 （1）从设计和工艺上保证结构对称性 （2）选用合适的测量电路 例如相敏检波器 （3）采用补偿电路 三、 测量电路 （二）相敏检波电路 四、应用 1．差动变压器式加速度传感器 2．微压力变送器 3．差动变压器测力 4．轴承间隙测量电路 5．电子皮带秤 L— 有效称重段 — 单位长度上的料重 —比例系数 9.2 电涡流式传感器 、基本特性 结构 等效电路 线圈 短路线圈 ① ② 解方程组： 线圈的等效阻抗 线圈的等效电感为： 线圈的 值为： — 无涡流影响时的线圈 — 为金属导体中产生电涡流部分的阻抗 均为非线性函数 但在一定范围内，可以将这些函数关系 函数来表示。 通过某一线性 与静电磁效应有关，线圈与金属导体构成一个 磁路，其有效磁导率取决于磁路的性质 1.当金属为磁性材料，有效磁导率随导体与线圈距离 减小而增大， 变大。 2