基于MEMS微镜技术的近红外光谱仪的研究_苏雷龙.pdfVIP

第28 卷, 第2 期 光　谱　实　验　室 Vol . 2 8 , No . 2 2 0 1 1 年 3 月 Chinese Journal of Sp ectroscop y L aboratory March , 2 0 1 1 基于MEMS 微镜技术的近红外光谱仪的研究 a b 苏雷龙 　蒋书波　程明霄　何 野　徐 波 ( 南京工业大学江浦校区自动化与电气工程学院　南京市浦口区浦珠南路30 号　211816) a( 南京工业大学高技术研究院　南京市新模范马路5 号南京工业大学科技创新大楼　210009) b( 江苏英特神斯科技有限公司　南京市新模范马路5 号南京工业大学科技创新大楼　210009) 　针对传统近红外光谱仪的不足, 设计了基于MEMS 微镜技术的近红外光路, 并对其电路和 处理软件做出简要描述, 最后用标准样品进行实验, 实验结果表明, 该光谱仪在重复性和稳定性得到保证 的前提下可以做到小型化、便携化。 微机电系统; 近红外光谱仪; 光路; 便携化 : O657. 33:A : 100 -8138(2011) 02-0 9 -05 1　引言 近红外光谱分析技术是一种基于近红外吸收的综合计算机科学和化学计量学等多学科的综合 分析技术。近红外光谱能很好的反映 — 、— 、— 等基团的信息, 并且近红外光在常规光纤 C H N H H O 中具有良好的传输特性。伴随着微机电系统( - - , ) 技术的兴 M icro Electro Mechanical Systems MEM S 起, 国内外开始了对基于MEMS 光栅技术的近红外光谱仪研制的探索, 但截至目前为止还没有商 品化的基于MEM S 技术的光谱仪。MEMS 技术在近红外光谱仪中的应用对于推动光谱仪的小型 化、便携化具有重要意义。 2　传统近红外光谱仪简介 为了得到一张连续的光谱, 传统的光谱仪采用各种手段对光路进行设计, 使得检测器可以对仪 器测量波段内的各点进行扫描。主要有以下几种: a: 滤光片型; b: 光栅色散型; c: 傅里叶变换型; : 声光可调滤光器型; : 阵列检测器型等。以上几类仪器虽然可以获得全波段光谱, 但是由于使用 d e 了机械移动部件或者是采用了昂贵的阵列检测器, 使得仪器在便携性、波长稳定性、测量重复性及 成本等方面都存在着不可避免的问题, 使得近红外光谱仪走出实验室用于工业现场存在着或多或 [ 1] 少的局限 。随着MEMS 技术的发展, 将MEM S 技术应用到近红外光谱仪中, 可以有效地解决仪 器小型化、便携化及仪器成本等实际问题。 3　MEMS 微镜技术及近红外光谱仪的 体设计 3. 1 光栅是光谱仪内最重要的分光元件。根据光学光栅是用于透射光还是反射光分为透射光栅和 南京工业大学青年教师学术基金重点项目资助 联系人, 手机: ( 0) E-mail:sm artmouse 198 @ 163. com 作者简 : 苏雷龙( 198 —) ,男, 河南省南阳市人, 硕士研究生, 主要研究方向为光谱分析仪器。 收稿日期: 2010-06-28; 接受日期: 2010-07-22 第 2 期 苏雷龙等: 基于ME MS 微镜技术的近红外光谱仪的研究 95 反射光栅。透射光栅是在光学平板上刻划 出等宽等间距的刻痕, 刻痕处不透光, 未刻 处是透光的狭缝; 反射光栅是在反射镜上 刻划一道道划痕组成, 在刻痕上发生漫反 射, 未刻处在反射方向发生衍射, 反射光栅 分为平面反射光栅和凹面反射光栅。根据 光栅理论, 光谱的级次越高分辨本领和色 散本领越大, 光强度的分布却是级次越低 光强越大。对于透射光栅, 零级光谱占了总 能量的很大一部分, 但是零级是没有色散