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纳米多层超硬膜力学性能研究进展 任 　毅 ,周家斌 ,付志强 ,王成彪 , 吕建国 ,于 　翔 ,彭志坚 ( ( ) ) 中国地质大学 北京 工程技术学院 ,北京 　100083 摘要 :纳米多层膜显著改善了膜层的硬度 、韧性 、耐磨性及耐热性 ,能够满足各种特殊应用需要 ,成为硬质薄膜研 究的热点课题 。本文综述了近年来纳米多层膜在硬度 、耐磨性及热稳定性方面的研究成果 ,分析了它们的主要影 响因素 ,并对今后纳米多层膜的发展趋势进行了展望 。 关键词 :纳米多层膜 ;硬度 ;耐磨性 ;热稳定性 中图分类号 : TG174. 44; TG113. 25　　文献标识码 :A 　　文章编号 : 2007) Rev iew of M echan ica l Perform ance of Superhard NanoM ultilayer F ilm s R EN Yi, ZHOU J iab in , FU Zh iqiang,WAN G Chengb iao, L J ianguo, YU X iang, PEN G Zh ij ian ( Schoo l of Engineering and Techno logy, Ch ina U n iversity of Geo science s, B eij ing 100083 , Ch ina) A b stract:N anom u ltilayer coating can imp rove the hardne ss, wear re sistance and therm al stab ility of the su rface layer m arkedly and it is ab le to m eet the dem and s of m any sp ecial u se s, so the inve stigation of the hard nanom u ltilayer film s becom e s a hot spotting ta sk in recen t years. Th is article dealsw ith the up to now re search re su lts of the hardne ss, wear re sistance and therm al stab ility for nanom u ltilayer film s and analysis of the p rim ary influence factors on it and the develo p ing trend for the nanom u ltilayer coating techno logy wa s also p ro sp ected. Key words: nanom u ltilayer film s; hardne ss; wear re sistance; therm al stab ility 　　现代加工业的飞速发展对工具 、模具涂层的性能 性能、结构各异的纳米多层膜 。多层膜的制备可以基 提出了越来越高的要求 ,苛刻的服役条件要求工具表 ( ) [ 12 ] 于反应气体周期调制 如 Ti/ TiN ,靶材周期调制 面涂层必须具备高的硬度 、耐磨性 、耐热性及足够的韧 ( ) [ 34 ] ( 如 TaN /N bN ,甚至沉积参数的周期调制 如偏压 性和强度 。常用的 TiN 、TiC、CrN 等单一涂层 由于硬 调制的 TiN / TiN ) 。根据界面结构的差异可分为同结 度 、热