光控电吸收调制器逻辑门的研制.pdfVIP

第十五眉全固化合物半导体、徽波期·件和光电器件掌术会议 广州’08 光控电吸收调制器逻辑门的研制 廖栽宜，赵玲娟，潘教青，周帆，边静，王圩 (中国科学院半导体材料重点实验室，北京100083) 摘要：提出并制作了新型的PD-EAM光逻辑门，它有着极高的开关速度潜力并可以方便的用于光通信中的信息处理。我们在实验 中证明了它的静态逻辑功能，并进行了622Mbit／s的高频逻辑功能测试，负载电阻为450o时，3dB带宽达到2．88GHz． 关键词：电吸收调制器， 单片集成，光探测器，化合物半导体 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： i caI GontroI EI i onModuI ator i CGate Opt ectroabsorpt Log Liao，Linjuan Pan，FanZhou，JingBian，WeiWang Zaiyi Zhao，Jiaoqing Materials,CASBeLling,100083,China．) (KeyLaboratoryofSemiconductors andan Abstract：Anovel hasbeen fabricatedmonolithic a electroabsorption opticalgate successfully by integratingphotodiode DC loadresistors．Over7dB ratioisobservedwith modulator．Itshowsanexcellent withdifferent extinction logic“and”function dynamic Q 2．88GHz． 950Dloadresistorand7mWcontrol at622MbiUs．Witha450load bandwidthcanreach lightpower resistor,the Keywords：electroabsorptionmodulator,photodiode，monolithicintegration EEACC：4150，4180，4270 1引言 在未来高速光通信系统中，光逻辑门器 件在实现光信息处理中起到至关重要的作 用。新型的PD．EAM逻辑门电路【l】，单片集 成光探测器(PD)和电吸收调制器(EAM)， 电信号只在极小尺寸内互连H不需要放大； 它克服了传统光电光门电路的速度限制，又 有光电光实现信号处理稳定的特点。实验上 已实现2．3ps的开关速度睇】，并灵活的用于各 图1(a)PD—EAM逻辑门示意图 种光信号处理中[3巧】。此外，由于PD—EAM同 ofthePD-EAM Fi91(a)Illustration 时具有光控和电控的性能，能用于光网络交 换节电实现更为复杂的功能【6。71，例如包交 换，广播等等。本文中，我们简略介绍 PD．EAM器件的理论基础，详细介绍器件制 作的工艺步骤和器件工作的实验结果。 2 PD．EAM逻辑门结构和原理 图1(a)是PD．EAM逻辑“与”门结构 ．：=● 示意图，(b)图为原理线路图。图l(a)中芯 图1(b)PD—EAM逻辑门原理线路图 oftheP