基于半导体激光器的光声光谱气体检测及其进展.pdfVIP

SEMICOND UCTOR OPTOEL ECTRONICS 　Vol . 30 No. 3 June 2009 动态综述 基于半导体激光器的光声光谱气体检测及其进展 张晓钧1 ,2 , 张永刚1 ( 1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 , 上海 200050 ; 2 中国科学院研究生院, 北京 100039) 摘 　要 : 　介绍了半导体光声光谱气体检测的基本工作原理和相关技术 ,阐述了半导体激光光 源特别是中红外半导体激光器的研究进展及其与光声光谱方法结合的应用现状 ,讨论了声信号的 常用检测方法与改进方案 ,并展望了发展和应用的新方向。 关键词 : 　半导体激光器 ; 光声光谱 ; 中红外 ; 量子级联激光器 ; 谐振 中图分类号 : O433 . 54 　文献标识码 : A 　文章编号 : 100 1 - 5868 (2009) 03 - 0326 - 07 Semiconductor Laser Based Photoacoustic Spectroscopy Gas Detection Methods and Developments ZHAN G Xiaoj un1 ,2 , ZHAN G Yo nggang1 ( 1. State Key Laboratory of Functional Materials f or Inf ormatics , Shanghai Institute of Microsystem and Inf ormation Technology , Chinese Academy of Sciences , Shanghai 200050 , CHN; 2 . Graduate School , Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100039 , CHN) Abstract : 　The op eration p rincip le s of semico nductor la ser ba sed p hotoacou stic sp ect ro scop y ( PA S) ga s det ection met ho ds an d relat ed t echnolo gie s are reviewed . The develop ment s o n semiconductor la ser so urce e sp ecially t he midinf rared semicon ductor la ser for PA S are int ro duced . The met ho ds an d imp rovement s of acou stic signal det ection are di scu ssed , and t he p ro sp ect s of t he t echnique are p redict ed . Key words : 　 semiconductor la ser ; p hotoacou stic sp ect ro scop y ; midinf rared ; quant um ca scade la ser s ; re sonance 0 　引言 化的日趋复杂 ,传统的痕量气体检测方法已经很难 适应各种新要求 , 因此迫切需要采用新方法和技术 气候变暖、大气环境污染等问题 日益被人们关 的高性能气体检测系统 。随着半导体激光