柔性电容式触觉传感器的研究与实验.pdfVIP

第28卷 第12期 电子测量与仪器学报 f．28 Ⅳ0．12 · 1394· JOURNALOFELECTR0NICMEAsUREMENTAND INsTRUMEN AT10N 2014年 12月 DOI：10．13382／j．jemi．2014．12．014 柔性 电容式触觉传感器的研究与实验 孙一心 钟 莹 王向鸿 孙小兵 李醒飞 (天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室 天津 300072) 摘 要：类似 “人工皮肤”的触觉传感器在人工智能、医疗器械等领域有着广泛的应用。利用柔性电路板加工工艺设计了 一 种基于分布电容的触觉传感器，并分析了其工作原理。设计的触觉传感器主要由3层膜结构压制而成，包括上层 电极 层、中间间隔层和下层电极层，并在每一触元上表面粘贴一硅胶触点以增大灵敏度。针对柔性电路板的不同形式和问隔层 不同厚度，加工了9种不同参数的触觉传感器，并对这9种传感器进行了量程、灵敏度、线性度等实验对 比。实验证明，通 过这2个参数的选择可以获得不同量程和灵敏度的触觉传感器，可根据实际应用场合选择具体参数以满足应用需求。同 时阵列扫描实验证明设计的触觉传感器可以获得其表面的受力情况，并可以将触觉力在上位机上可视化的显示出来。 关键词：人工皮肤；触觉传感器；柔性电路板；分布式电容 中图分类号：TP212；TN9 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4020 Researchandexperimentofaflexiblecapacitivetactilesensorarray SunYixin Zhongring WangXianghong SunXiaobing LiXingfei (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：Skin．1iketactilesensorsarewidelyusedinthefieldofartificialintelligenceandmedicaldevices．Akind oftactilesensorbasedOffdistributioncapacitancewithflexibleprintedcircuitboardtechnologyisdesignedandits workingprincipleisanalyzed．Theproposedtactilesensoriscomposedofthreefilmsincludingtop—electrodelayer， spacerlayerandbottom—electrodelayer，andacontactpointisplacedonthesurfaceofeachsense]．Wefabricated 9differenttactilesensorswithdifferentkindofflexibleprintedcircuitboardanddifferentthicknessofthespacer layer，andcomparedtheexperimentresultsoftheirmeasurementrange，sensitivityandlinearity．Theresultsshow thatthetactilesensorswithdifferentmeasurementrangeandsensitivitycanbefabricatedbychoosingdifferentpa— rameters，andcanmeetdifferentapplicationrequirement．Theexperimentofarrayscanningshowsthatthedesigned tactilesensorearlmeasuretheforceappliedonitssurfaceandtheresultcanbedisplayedonthehostcomputervis— ually． Keywords：artificialskin；tactilesensor；flexibleprintedcircuitboard；distribut