定日镜面形精度检测中的三坐标系统的精度分析.pdfVIP

第3 5 卷第5 期 光 学 技 术 Vol . 35 No . 5 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 2 0 0 9 年 9 月 OP TICAL TECHN IQU E Sep . 　2009 文章编号 : (2009) 05075 103 　　 定日镜面形精度检测中的三坐标 扫描系统的精度分析 1 ,2 1 1 许文斌 , 卢振武 , 张红鑫 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与