ＰＣＴ－ＺＷ－Ⅱ小型测试系统的开发.pdfVIP

PCT—ZW—II小型测试系统的开发 r 朱洲张国伟王国章 无鲁市中国隼■电子集团咎司中央研究所214035 zhuzhou@pubHcI．wx．js．cn ■曩本文舟鲴了PCT—zw—u小型测试系统的开发原理和开发过程t提出了一种新的集成电 路大规模测试的解央办法，印以微型计算机为主体通过信号发生模块和数据采集模块的控制，完 成集成电路的测试．并通过机械手和摄钳台的控制实现集成电路的大规模测试 DSP 燕■诩半导体集成电珞测试单片计算机机械手探针台数据采集DUT 1．引言 在半导体集成电路行业中，IC测试是集成电路制造过程中必不可少的一道J二序，它需要 的投瓷很大．丈规模铡试系统价值动辄数十万、甚至数百万美金，为了上量又必需多台测试 系统，然而理论上测试系统的无故障使用寿命一般都只有几年，所以测试成本非常之高。近 年来，现代控制理论和微型计算机技术的毽速发展为研制开发以微型计算机作为控制器的小 型测试系统提供了可能。与传统的模拟系统相比，这种小型测试系统的性能的各项指标都毫 不逊色．为了降低成本，提高测试能力以适应规模生产的需要，我们开发了一种基于上述思 路的具有一定针对性的小型测试系统Pcr-zw-11。 2．PCT-ZW-II小型测试系统的工作原理 该小型测试系统以Pc机为主控制机，控制数字信号和模拟信号的产生；而待测器件产生 的数字信号由数字通道直接返回主机进行处理，模拟信号划经过信号调制模块进行调制，一 r 图一 575 部分信号由数据采集#进行采集，另一部分信号由多块单片计算机进行并行处理，处理结果 由通讯模块返回主控制机．主控制机对数据进行处理和判断后将结果输出到CRT域打印机。并 ● 由主机控制机械手避行成赫测试，控制探针台进行芯片测试。原理豳如脚一所示： 2．1主控}斟机 主控制机为一台标准J：业Pc．它是整个PCT—z-一Ⅱ测试系统的心脏部分，包括兰大功能， 首先与用户进行人机对话，获取相应的信息；其次，控制整个测试过程的时序．包括信号的 产生．源的控制，数据的栗集；量后，将采集得到的数据进行处理和判爵并输出测试结果。 2．2系统的扩展 避过一郝分数字遴遵来模拟通信协议．就可以通过控制机控制机械手，实现机械化大生 产．降低由于人为因紊产生的质量问题。 2。3信号的产生 能力较弱的缺点。因此需要采H{自制高精度电源。信号的产生有两种方式，一种是采用波形 噶 成本较高，若卡本身不带DSP则占用大量的CPO时间；另一种是通过控制总线控制波形发生模 块产生信号，这种方式优点是成本低，不占用CPU时间，缺点是可控性较差，只能产生预先设 定好的波形。其中信号发生模块可以采用单片计算机制作，原理见圄二。 U 数据总线 M 增 形输出 控制总线 ————■ 益 C 控 一 制 片选信号 U 读／写信号