采用激光对YBCO超导薄膜局域改性的实验的研究.pdfVIP

第五届全国超导薄膜和超导电子嚣件学术会议论文集 采用激光对YBCO超导薄膜局域改性的实验研究‘ 刘雷冯一军傅泽禄顾大振赵恩海康琳橱森祖吴培亨 (南京大学电子科学与工程系，南京，210093) 【摘要】为了利用超导薄膜制作高性能电子器件和电路，必须发展超导薄膜的平面工艺．本 文采用脉冲激光和掩模方法进行了YBCO超导薄膜局域改性的实验研究，对改性条件等参数 作了详细报道，并对改性的薄膜作了成分厦超导电性的分析．量后利用钷波近场显擞镜对用 激光局域改性方法制作的YBCO薄膜条纹墨件进行了微波特性分布的分析．结果表明这是一 种合适的制柞高Tc超导薄薯I器件的方法． 关键词：激光YBCO超导薄嚷局域改性 I 引言 为了利用超导薄膜制作高性能电子器件和电路如约瑟夫森微桥结，共面传输线， 开路谐振器．YBC0场效应器件等，必须发展超导薄膜的平面工艺“!。传统的掩模光刻 方法由于容易产生边缘的退化而影响器件和电路的高频性能。利用YBc0超导薄膜的电 性质随氧古量变化的性质以及激光的局域热效应，可以在YBC0超导薄膜表面直接生成 超导体一半导体区域，从而为制作高性能器件与电路提供了可能性。1987年，Joharmsen 等首次提出了这一方法的概念口】，此后，Krel