测量纳米级变形的晶体光栅云纹法.pdfVIP

现代力学测试技术 测量纳米级变形的晶体光栅云纹法 邢永明 戴福隆 谢惠民 清华大擘工程力学系，Io008{，北京) 摘要 本文提出利用晶体的规则排列作计量光栅，用高空问分辨显微分析技术(mE^f)记录晶体 。 的结构像，}Ⅱ谁M照片与普蹲光栅叠如，并利用傅立叶滤波技术倍增条纹·得到了高质量的·具有亚原 子量级分辨率的云纹条纹圈，用这一方法分析了位锘、晶格变形、微聩陷附近的残余应力等微观力学 现象． 关健词晶体光掘，云纹法，。纳米，删 一、引言 当前．力学学科的一个重要发展方向是材料在细观乃至纳观层次上力学行为的研 究。如复合材料的界面力学行为，各种材料在纳观尺度上的微缺陷萌生、演化直到破坏 的机理，微机械及电子封装涉及的力学问题。这些问题的解决对力学实验方法和技术提 出了新的要求，迫切需要建立在细观、纳观尺度上的实验力学方法．在目前较成熟的实 验力学方法中，云纹干涉法由于其灵敏度高，条纹分辨率好，量程大，可实时测量等一 系列优点．成为进入细观领域的少数方法之一。然而，由于受激光波长的限制，云纹干