差动共焦式光探针轮廓扫描测量原理的研究.pdfVIP

差动共焦式光探针轮廓扫描测量原理研究 谭久彬1，王富生2，赵堆谦3 (堆尔蒺工韭大学自动化测试与控制系．略尔靛150001) ■叠本文提出丁一种差动共■式光辩}轮■扫描技术愿曩．谊—轮廓扫描技术^ 青姒向分辨力高·信号穗定性好和可宴现车连接靶■盼苑对式扫抽捌量肆特点．宴鞋表 明．谖技术对光一囊声和■暮有较好的抑翻作用：飘冉分辨力可达l一2蚺米． 1 引言 由于共焦光探甘轮■扫描测量技术．；l入了具有空问滤波功能的共焦甘孔．有仅使光学千 丝万蓑文^盘鲁了独特的轴向响应特性，而且同时^有抗杂救光能力强和光强对比度大的忧点 …．这形馥了共熏式光撵竹轮廓扫描嗣量技术的蔓着特色，引趋众多专寡学者的警追关注． 在进—步研究中，人们发现t谈技术仍存在明显不足，知光蠢曩声和蠢移对测量信号有I接髟 响；当蕞用糖入特性斜率较大的工作段时，尽蕾分辨力较高．但不能对车连续轮枣进行扫插铡 I· j／ 车文基举共焦光路和一般差动光路的思想““．提出差动共焦熏理轮廓扫描捌量技术．其 基本善llS是通过焦前和焦后两路接收信号形成相移．二路信号的差