MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征.pdfVIP

维普资讯 第5卷 第4期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 V01．5 No．4 20Cr7年 12月 NalmtechtmlogyandPit onl~．gineering Dec．200r7 MEMS变形镜用 PZT厚膜致动器 阵列的制备及性能表征 许晓慧，冯 艳，刘 爽，李保庆，褚家如 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，合肥 23~z6) 摘 要：提 出了一种基于锆钛酸铅 (PZr)压 电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜，建立了该微变形镜的结构模 型，分析 了其结构中各层厚度对其性能的影响．PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备 的，刻蚀液为 1BHF：2HC1：4NH,C1：4H20．以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能，在 100kHz以下时，其介 电常 数和介质损耗分别优于2400和 3％．利用悬臂梁方法测试了压电厚膜的 以，横向压电系数，约为一250pm／V．制备 了4×4阵列的压电致动器阵列 ．采用激光多普勒测试压电致动器的电压位移曲线，在 100V的电压驱动下致动器 的变形量大约为2．2a／n；测试了致动器的频率响应，其谐振频率高于100kHz；致动器刚度大，带负载能力强． 关键词：变形镜 ；压电陶瓷；锆钛酸铅 (PZT)厚膜；刻蚀 中图分类号：TN16 文献标志码 ：A 文章编号 ：1672．6030(2007)04-0261．05 Fabrication and Characterization ofPZT TllickFilm ActuatorsArrayfor M EM SDeofrmableM irror XU Xiao—hui，FENGYan，LIUShuang，LIBao—qing，CHUJia-ru (DepartmentofPreci~onMachineryandPrecisionInsturmentation，UniversityofScienceand TechnologyofChina，Hefei230026，China) Abstract：AnovelMEMSdeformablemirroractuatedbyPb(ZrxTil一)03(PZT)thickfillactuatorsarmywas presentedinhtispaper．rI11eanalyticalmodelwasestablishedna demployedforstructureoptimizationofhte bulkPZT actuator．PZT htickfilmswereprepaidbyhtinningbulkPZT ceramicsusingwet—etchingmehtod ． etchantWas 1BHF：2HC1：4NI-LC1：4H20． dielectricpropertiesofhtePZTthickfflmsweremeasured usinglock—intechnique．rI11edielectricconstantna ddielectriclossarebetterhtna 24OOnad3％。respective— ly，whenhtefrequencyislowerhtna 100kHz．rI11epiezoelectricpropertyWas measuredusingafbaricatedpi—