电子元器件失效分析新技术的发展和应用.pdfVIP

·控制系统与电子元器件· 电子元器件失效分析新技术的发展与应用 何涛 刘春立 富大欣 (航天材料及工艺研究所 ) 一 文摘近年来国内外在电子元器件失效分析领域采用了一些新的分析技术和手段， 如：热波显徽镜和热波电子显微镜、超声显擞镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜、弹道电子 ! 发射显微镜、光辐射显微镜以及电子柬探升技术等，这些技术和手段的应用极大地推动了电 j 子元器件失效分析技术的发展，使失效机理研究工作进一步深化。本文就上述这些新技术 的发展、原理、特点和应用进行了综述和评价。 { l概述 (uJs)技术时代，具体技术特征为：芯片金 现代电子技术、光