q软X光多层镜反射率在同步辐射源上的标定.pdfVIP

维普资讯 第 19卷 第 12期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．19，NO．12 2007年 l2月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAM S Dec．。2007 文章编号 ： 100l～4322(2007)12—2043—04 软 X光多层镜反射率在 同步辐射源上的标定 侯立飞 ， 易荣清 ， 杜华冰 ， 刘慎业 ，朱京涛。， 赵屹东。， 崔明启。 (1．中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 ，四川 绵 阳 621900； 2．同济大学 精密光学工程技术研究所 ，上海 200092 3．中国科学 院 高能物理研究所 ，北京 100039) 摘 要： 软 x光多层镜反射率标定实验在北京同步辐射装置 上进行，利用BSRF-3W1B束线及其反射 率计靶室 (主靶室)标定不同材料的多层镜样品的反射率。多层镜的标定采用波长扫描法，以得到样品反射率 随波长变化 的曲线 。给 出了2l。-BC／Si，2l。一BC／Mo，10。Cr／Ti，15。Bc／w，10。B4C／W 以及 6．86。一B4C／W 等 6块多层镜在 5O～l500eV能段上的反射率标定曲线，并将其与理论计算结果进行比较。结果表明：标定 曲线与理论 曲线很好地符合。影响标定结果的总不确定度 的主要 因素是光子能量不确定度 ，其次是角度不确 定度 ，测量不确定度 的影响很小 。 关键词 ： 软 x光 ； 多层镜 ； 反射率 ； 高次衍射 ； 不确定度 中图分类号 ： TH842 文献标识码 ： A 在 ICF实验研究中，x光能谱可以提供大量的物理信息。测量 x光辐射能谱的方法较多，目前主要使用 的设备有 K边滤波 XRD阵列谱仪和透射光栅谱仪等。但是，K边滤波 XRD阵列谱仪主要存在能带宽度较宽 和高能尾部的问题 。透射光栅谱仪虽然能谱分辨率较高，但是它存在高级衍射相互重叠，解谱非常困难。多层 镜作为一种非常重要的低能x光色散元件 ，具有反射、色散和高能截止的功能_l]。利用多层镜能谱仪既可以 避免高能尾部的影响，也能避免高级衍射的影响，还可以提高能量分辨率。谱仪由多层镜与XRD组成。因为 在激光惯性约束聚变研究的实验中需要定量测量软 x光能谱 ，所以多层镜的反射率须进行精密标定 。 在同步辐射装置上标定软 x光多层膜反射率通常都是较长波长 (较低能量，通常 200eV 以下)的样 品，较 窄的能量和角度测量范围3【]。我们在北京同步辐射实验装置上进行的多层镜标定实验，完成了反射峰在 95 ～ 1450eV之间的8块多层镜的标定 ，测量能谱范围为 5O～1500eV。标定结果为多层镜应用于定量测量提 供了可靠依据。 1 实验设备 1．1 标定源 实验在北京 同步辐射装置 (BSRF)上进行，利用 BSRF一3W1B束线及其反射率计靶室 (主靶室)可以作滤 光片、透射光栅、CCD等小型探测元器件标定实验 ，多层 镜标定实验即在此进行 。标定装置如图 1所示 ，主靶室 内有样品台，样品台可作水平移动，还可作 360。转动 ]。 1．2 监测系统 实验选用美 国IRD公司研制生产的AXUV一100硅 光二极管作探测器。探测器灵敏面为 10mm×10mm， 其优点包括：响应范围很宽(7eV～12keV)，动态范围大 Fig．1 Equipmentsforcalibration 于7个量级 ，稳定性好，前死层较薄(3～7nm)，暗电流小 图1 标定装置示意 图 (pA级)。我们使用该探测器测量多层镜的反射率 ，具有 较高的信噪比，约 103。探测器的输出电流 由美国吉时利公司生产的弱电流计 6517测量 ，该 电流计可以测量 1O A的电流E。利用这套测量系统 ，反射率的测量误差小于0．1 。 1．3 反射率计装置 * 收稿 日期 ：2007—03—22； 修订 日期 ：20