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Research of micro-EDM and its applications.pdf
维普资讯
JournafofHarbinInstituteofTechnolo (NewSeries),Vo1.14,No.6,2007
Research ofmicro-EDM and itsapplications
ZHANG Yong.WANGZheng—long.HU Fuqiang. Bao—xian,ZHAO Wan—sheng
张 勇, 王振龙 , 胡富强, 贾宝贤, 赵 万生
(1.Dept.ofMechanicalEngineering,HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China,E·mail:hit—zy@yahoo.COll1.cn)
Abstract:AMicroElectricalDischargeMachining(MEDM)equipmentwasdevelopedinthispaper,onwhich
theCNC interpolationfor3一axislinkagemovementcouldberealizedeasily.Bythismicro—EDM equipment,the
fabricationprocessofmicroelectrode.microhole,siliconwaferandcomplexmicrostructurewasdiscussed.The
processrulesofmachiningefficiencyandtherelativeelectrodewearrateaswel1asthemachiningmechanism
andpedormanceofsiliconmicroEDM werealsoresearched.Machiningexperimentsshowedthatthemicroelec—
trodediameterassmal1as6LLm andthemicroholewith minimum sizeof10 LLm couldbeobtainedsteadily,
andthemaximum aspectratiosofmicroelectrodeandmicroholewereover25and10respectively.Andsilicon
micro—EDM experimentsshowedthatthemicrobeam withtheaspectratiosover15couldbeobtainedeasily.
Andamicrobeam withminimum sizeof23Ixm widthonasiliconwaferwith420Ixm thicknesswasachieved.
At1ast.themicmstructuremachiningtechnologyformicro—EDM wasalsodiscussed.Andamicro—facialsculp.
turewithfreespacecurvedsurfaceandsizeof1mm x0.3mmx0.18mm wasalsomachinedsuccessfully.
Keywords:microelectrodischargemachining;siliconmachining;microelectrode;irregularhole;micro3D
structure
CLCnumber:TG661 Documentcode:A Articlem :1005-9113(2007)06一o747435
ElectricalDischargeMachining (EDM) isa experi
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