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Research of micro-EDM and its applications.pdf

维普资讯 JournafofHarbinInstituteofTechnolo (NewSeries),Vo1.14,No.6,2007 Research ofmicro-EDM and itsapplications ZHANG Yong.WANGZheng—long.HU Fuqiang. Bao—xian,ZHAO Wan—sheng 张 勇, 王振龙 , 胡富强, 贾宝贤, 赵 万生 (1.Dept.ofMechanicalEngineering,HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China,E·mail:hit—zy@yahoo.COll1.cn) Abstract:AMicroElectricalDischargeMachining(MEDM)equipmentwasdevelopedinthispaper,onwhich theCNC interpolationfor3一axislinkagemovementcouldberealizedeasily.Bythismicro—EDM equipment,the fabricationprocessofmicroelectrode.microhole,siliconwaferandcomplexmicrostructurewasdiscussed.The processrulesofmachiningefficiencyandtherelativeelectrodewearrateaswel1asthemachiningmechanism andpedormanceofsiliconmicroEDM werealsoresearched.Machiningexperimentsshowedthatthemicroelec— trodediameterassmal1as6LLm andthemicroholewith minimum sizeof10 LLm couldbeobtainedsteadily, andthemaximum aspectratiosofmicroelectrodeandmicroholewereover25and10respectively.Andsilicon micro—EDM experimentsshowedthatthemicrobeam withtheaspectratiosover15couldbeobtainedeasily. Andamicrobeam withminimum sizeof23Ixm widthonasiliconwaferwith420Ixm thicknesswasachieved. At1ast.themicmstructuremachiningtechnologyformicro—EDM wasalsodiscussed.Andamicro—facialsculp. turewithfreespacecurvedsurfaceandsizeof1mm x0.3mmx0.18mm wasalsomachinedsuccessfully. Keywords:microelectrodischargemachining;siliconmachining;microelectrode;irregularhole;micro3D structure CLCnumber:TG661 Documentcode:A Articlem :1005-9113(2007)06一o747435 ElectricalDischargeMachining (EDM) isa experi

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