特气输送与尾气处理系统用户要求.doc

特气输送与尾气处理系统用户要求 1. 气柜配置 气体种类与性质 气体编号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 气体种类 PH3 NH3 SiH4 TMB CH4 H2 CO2 N2 液氮 有毒性 √ 可燃性 易燃 可燃 极易燃 极易燃 易燃 易燃 不燃 不燃 不燃 腐蚀性 √ 与空气混合形成爆炸性混合物 √ √ √ √ √ √ 1.4 0.7 1.3 2.3 0.68 0.08 1.53 1.16 与水反应 极易溶于水 √ √ 管道除油 √ √ 称重计 √ √ 强大通风 √ √ √ √ √ √ 消防水喷淋头 喷水 喷水 喷水 喷水 喷水 二氧化碳、干粉 √ √ √ √ √ 检漏 检漏液 备注：对于液化气体，排放管道必须除油，打开阀门时必须慢慢打开，以防气体高速增压爆炸。 特气柜存放气体的种类及方式 气体种类 SiH4 N TMB PH3 N2 H2 CH4 NH3 CO2 N2 气体纯度 6N 6N 3%浓度，H2稀释 3%浓度，H2稀释 6N 6N 5N 5N 5N 6N 气瓶尺寸 44L 44L 10L 16L 44L 44L 44L 44L 44L 44L 存放方式 防爆柜1 防爆柜2 防爆柜 气瓶架 存放特气房