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奈米製備技術與原理 (葉志麟) I. 理想奈米材料 奈米材料是指材料的幾何形狀達到奈米尺度，並具有特殊功能的材料，其主 要類型包括：奈米粒子、奈米管、奈米薄膜、奈米塊材等。儘管奈米材料的 製備方式有如雨後春筍般的林立，不管其製備方式如何，除了尺寸符合奈米 外，所謂理想的奈米材料，則有以下幾個要求： A. 粒徑分佈均勻（標準偏差在5% ），均在奈米化尺寸。 B. 粒子之間分散性良好，無凝聚現象。 C. 粒子型態均一，並非多種不同形狀的奈米粒子共存 。 因此 ，選擇適合的製備方式與反應條件 ，便成了踏入奈米領域的首要條件 。 II. 奈米材料製備 A. 想要使材料奈米化的性質得以展現，首先需將材料奈米化，若以材料奈米 化的生成方向來看 ，一般可分成兩個方式，即由上而下法 （Top-down method ）與由下而上法 （Bottom-up method ），其比較如下： 由上而下法 由下而上法 生成方向 塊材Æ奈米粒子 原子或分子Æ奈米粒子 原 利用機械或外加能量 ，以 利用各種化學合成技 削小 、研磨 、粉碎等方 術 ，在不同狀態與反應條 式，使原來塊材材料逐漸 件下，使原子或分子團逐 由大變小 漸由小變大 粒徑大小 對於機械強度高的材 易控制在奈米尺寸 料，不易達成奈米化 粒徑分佈 粒徑分佈不易控制 分佈均勻 材料純度 低 ，易在研磨過程中受污 高 染 材料設計 受限度較高 自由度高 材料型態 結構不均一，較難由製成 結構均一，可由合成條件 條件控制 控制 製備程序 較簡單 較複雜 B. 若以合成的技術層面來看，則可分為 理方法與化學方法，然而合成技術 日新月異，因此列舉常見如下： 1. 理方法 ： 1 奈米製備技術與原理 (葉志麟) a. 氣相冷凝法 b. 濺射法 c. 機械球磨法 2. 化學方法 ： a. 沈澱法 b. 水熱法 c. 溶膠-凝膠法 d. 微乳化法 e. 化學氣相層積法 以下，我們將一一介紹上述各種製成技術並闡述其特色與優 、缺點 。 III. 奈米製成 ： 理方法 A. 氣相法 氣相法是直接利用氣體或是通過不同方法將反應 (前驅 )變成氣體 ，使 之在氣態下發生 或化學變化，之後在冷卻過程中，氣態粒子凝聚形成 固態奈米粒子。氣相法大致可分為氣相冷凝法( 理方法) 、濺射法( 理方 法)以及化學氣相層積法(化學方法) 。 1. 氣相冷凝法 ： a. 氣相冷凝法是在惰性氣體(或活潑性氣體)中 ，利用真空蒸發、加熱 或是高頻率感應等方法使金屬、合金或陶瓷蒸發汽化成原子或分子 團 ，然後與氣體相互碰撞來冷卻、凝結而瞬間下降溫度，進而聚集 形成固態奈米粒子。 b. 整個過程在高真空反應爐 中進行 ，將欲汽