掺杂氧化锌(ZnO)薄膜特性与应用研究进展.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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第卷第期 2009年云南省研究生学术论坛论文集、，01．No．年月 Nov．文章编号：掺杂氧化锌(Zn0)薄膜的特性与应用研究进展李光明，何京鸿，赵恒利 (云南师范大学太阳能研究所；教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室，云南昆明，650092) 摘要：氧化锌由于具有优异的光电、压电和宽带隙等性能，在功能器件的研制及应用中具有重要的地位。尤其掺杂后的氧化锌薄膜制备的器件应用领域更加广泛。本文概述了氧化锌薄膜材料的结构和特性，对金属和金属氧化物掺杂氧化锌薄膜的特性及应用进行了综述关键词：氧化锌薄膜特性金属惨杂应用中图分类号：文献标识码l of Zinc0xide(ZnO)ThinFilm DevelopmentDoped Characteristicand Application LI Guangming，既Jinghong，ZHAOHengli ResearchInstituteofYunnanNarmal (1．SloarEnergy University； ofAdvanced forRenewable Laboratory TechniquePreparation (2．Key ofEducation,Yunnan650092) (3．EnergyMaterials,Ministry Kunming Abstract：Duetoitsexcellent wideband e1． prop,mies，at photoelectric，piezoelectric，andgap Zno all infunctionaldevice and function takesimportantposition developmentapplication,111e hasmoreextensive devicesmadefrom zincoxidefilm doped applicationsespecially．ne structureandcharacteristicsofzincoxidefilmmaterialaledescribedthisarticle．ne by characteristicand ofthemetalsand zincoxidethinfilmare applications metal-oxide．doped reviewed Words：ZnothinfilmCharacteristicMetal Key dopingApplicati