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System 650万能黏结测试仪.pdf
维普资讯
薪产品 NEW PRODUCTS
湿法处理系统 芯片粘结浆料
M1708是一款高性能芯片粘结浆料,主要针对铜
C - Q框架上的小
工具和极其有效的清洗系统。该系统 尺寸芯片设计。该
可用于大部分衬底材料的一般刻蚀和/ 材料用于在采用铜
或清洁工艺。 引线框架的QVN和
SOIC封装,可粘结
、^n^n^,.ap-S.de 2.5X2.5mm或更
小的芯片。该浆料
可以快速分散而没
低电流测量数字源表 有拖尾现象;较低的键合连接阻抗,降低了能量排放。
Henke1
2600N26yJJ6S,o采ur用ce最M新et wvvvv.henke1.corn /electronics
(10.15安)的测量分辨率,从而满足了很多半导体、光电和纳米器
件的测试需求。其基于仪器的多通道架构相比普通的基于主机的源
测量方案降低了50%的
成本。2636和2635具有
廉价的扩展性和更短的测
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处理器 (TSP。)和TSP-
Link。互连通信总线,测
试工程师可利用 2636和
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研究、特征分析、圆片分
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用了更高放大倍数的光学系统,缩小了光斑尺寸,并且
吉时利仪器公司
提高了兼容性,该系统的吞吐率可以提升 25%。
、^n^n^,.keithley.com
RudolphTechnologiesInc.,
wvvvv.rudolphtech.com
System 650万能黏结测试仪
ystem650的快速启动测试模块支持引线测试、引镊测试、球 PECVD系统 1-r
U 形粘合剪切测试、低温拉球测试或芯片剪力强度测试之间的快 ectorExtreme~--
速转换。所有的转换测试模块可有广大范围的选择,容许待测力精 ~ … … 一 :三三二三二:三兰:三!
度低于 1公丝。不同机器之间的校准精确度在总系统内保持 0.15% 具可以集成多达三个顺
的精确度。标准控制PC被整合进该系统中。 序工艺操作模块,在一
测试仪高分辨率的运动控制系统可以重复提供小于1微米的粘合剪 个中心晶圆处理腔的基
切厚度,可以剪切重达200Kgf(440lbf)的较大的裸片。305mmx 础上可以实现 12个沉
155mm的随动装置驱动型XY镜台可测试300mm的晶圆、引线 积台。如果采用这样的
架、较大的基片或PC板。 设置沉积用于存储器器
BondTestManagerMT 控制程序在 Windows。XP下运行,整个系统 件较厚的薄膜,其吞吐
的体积为长560mm (22in)X宽4
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