新型衬底材料—LiAIO热稳定性研究.pdf

维普资讯 第 33卷第 5期 硅 酸 盐 学 报 Vo1．33．No．5 2005年 5月 JOURNAIOFTHECHINESECERAMICSOCIETY May ．2005 新型衬底材料 —LiAIO热稳定性研究 邹 军 ，周圣明，彭观良 ，周国清，徐 军 (1．中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800；2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘 要：研究了温度梯度法生长的7一LiAIOz晶体在 1100℃不同气氛处理的热稳定性。借助扫描电子显微镜和X射线衍射分析发现： 1100。C／10h真空和空气处理后的样 品表面分别形成了均匀微孔状和岛状 LiAI5O8多晶；而富 L』气氛处理后样 品表面仍然光滑且仍 为LiAIOz。用Leitz大视场显微镜观察重新抛光后样品内部宏观缺陷，发现空气和真空处理后样品缺陷增多，分别为岛状和条纹状缺陷；而富 Li气氛处理后样品中缺陷明显减少。对比不同气氛处理的4块样品吸收光谱，确认了真空和空气处理产生的 196nm吸收峰可能是Li空位吸 收峰。 关键词：铝酸锂；衬底材料；吸收光谱；退火处理；晶体缺陷 中图分类号：0782 文献标识码：A 文章编号：0454—5648(2005)05—0564—04 THERMAL STABILITY OF THENOVEL SUBSTRATE MATERIAL 一LiAIO2CRYSTAL ZOUJ“”。。，ZHOUShengming ，PENGGuanliang 。。，ZHOUGuoqing ，XUJ“” (1．ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcademyofScience，Shanghai 201800： 2．GraduateSchoolofChineseAcademyofScience，Beijing 100039，China) Abstract：Thethermalstabilityofy—LiA102crystalgrownbytemperaturegradienttechniqueat1100 ℃ indifferentambient wereinvestigated．Thecrystalsobtainedwereexaminedbyscanningelectronmicroscope(SEM )andX—raydiffraction (XRD) ． Theresultsshow thattheislandish，micro—holesLiA1508phaseappearonthesurfacewhentheyareannealedinairandvacuum at1100℃ for10h．TheinnerdefectswereobservedbyLeitzmicroscope．Thepunctualpits．disorderedstripesareseeninthe samplesafterannealedinairandvacuum．HoweverthesurfaceisalmostunchangedforsamplestreatedinLi—richambientand theinnerdefectsdisappear．Studyontheabsorpti