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氨处理溶胶_凝胶SnO_2薄膜特性研究.pdf
2001 2
SnO
2
(, 200331) ( , 201800)
采用溶胶凝胶(SolGel) 法制备SnO 薄膜, 通过对薄膜的不同处理方式( 热处理氨处理
2
和未处理) 所获得的SnO 薄膜的比较, 研究 氨处理SnO 薄膜的结构抗机械损坏能力光学及电学特
2 2
性实验结果表明氨处理溶胶凝胶SnO 薄膜不仅具有较好的抗机械损坏能力, 同时也具有良好的光学
2
和电学性能
SnO 薄膜 溶胶凝胶工艺 氨处理
2
, SnO2 ,
1 前言 ,
[8]
SnO
2 Belleville SiO2
[9]
, , ,
, , ,
SnO ( CVD) [ 1] ,
2 ,
(Sputtering) [2] , ( Spray pyroli
[ 3] [4,5] SnCl 2H O , Sol
sis) ( SolGel) 2 2
Gel SnO ,
, SolGel 2
, , (
, , ) SnO ,
2
, , SolGel SnO2
SnO ,
2
, 2 实验
SolGel
SnO SolGel 21 SnO
2 2
, 1012g SnCl 2H O 100ml
2 2
, ,
[4 6]
, 80! 2h, ,
, ,
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