奈米铜均热板应用在LED+之可行性研究.pdfVIP

第 十 三 届 全 国 热 管 学 术 会 议 奈米铜均热板应用在 LED 之可行性研究 1 1 2 1 2 赵少君 ，陈均维 ，康旭雅 ，林唯耕 ，王鸿博 1 2 （清华大学工程与系统科学系、成功大学环境工程学系 ） （联系电话：+886-3-5715131 42664 ，E-mail ： wklin@ess.nthu.edu.tw ） 摘要 可调 径 米 属(M@C)及双 属或合 (M1M2@C)核壳 子均为特殊新颖材 ， 粒 奈 金 金 金 粒 料 以其高导热性之特性在光电之应用范围可行性相当有潜力，在 米技术及研究中比较关键处是 奈 合成可调大小及形 之 米 子，传统方法 如:化学还原法、 属蒸镀及 射照射等 无法 狀 奈 粒 例 金 雷 都 合成均一大小(narrow size distribution) 及可调大小(size-controllable)的 属 米 子。另一困难 金 奈 粒 处是如何避免或减少 米 子，尤其温 增加时之聚合。本文组装奈米毛细泵高效率均热板， 奈 粒 度 系利用奈米铜毛细泵均热板，涂布于均热板内，构筑间距约7-10 nm 之 Cu (20 nm)之奈米毛细 泵。配合本实验室研发之 LED 接点温度量测系统(LED Tj Measurement System)测试其 LED 之 接点温度，结果显示此奈米均热板材，应用于 LED 散热组件，经实验测试可以降低 LED 接点 温度(Tj) 3~5℃，其热阻值计算为 8.9(K/W) ，实验经证实有涂抹导热膏之组别又比未涂抹导热 膏之组别约低 10℃，所以散热胶在LED 散热片上之应用实际相对非常重要。 关键词 奈米铜、均热板、vapor chamber 、LED Tj 1. 前言 近年来，电子组件功率越来越大，产生之废热也与之俱增，为了更有效率的提升效能，解决散热问 题才是根本之道。奈米金属具高表面积及电热传导性，散热应用具高潜力，均热板也已被证实其高热传 导效能非常适合做为导热的介质。一直以来资源回收技术层面往往着重于回收技术的开发与商品化，功 能导向资源回收之新契机，起源于资源持续性的匮乏，本研究曾以醣化合物捕捉高科技晶圆制程废水中 的铜，形成之错合物，碳化后生成碳化铜奈米粒子，外层碳膜可以避免中心奈米金属核氧化或团聚，有 助于分析其物理化学基本性质例如:熔点、热或电传导性等[1]，金属在奈米尺度时，其基本性质例如熔 点随奈米粒子粒径的大小而改变，在之前的研究已量测奈米铜及银熔点变化，本文采取以奈米核壳粒子 Cu@C 在去壳后形成之奈米铜粒子为添加物，为了轻易取得铜离子，本实验是以 CMP 废水溶液中取得 铜离子。因此，化学机械研磨(chemical mechanical polishing (CMP))在后段制程中扮演极具重要角色， CMP 废水也因此富含奈米级粒子，分離回收其中奈米铜也成为废水回收超纯水之关键技术。利用醣化 合物捕捉 CMP 废水中铜離子，形成错合物，碳化生成奈米 Cu@C 核壳粒子，最重要的是可调整醣与 金属離子之莫耳比例以合成可调粒径大小(7~40 nm)之核壳粒子，最后以蒸汽去壳而得到奈米铜粒子。 奈米铜与块状铜(bulk)熔点差异(ΔT)随粒径变小而增加，尤其重要的是实验值与理论计算值相当符合[2]