气体传感器在工业与应用.pdfVIP

第28卷专辑 中 国 稀 土 学 报 20loff4,q 气体传感器在工业中的应用 党恒耀，赵进宣，郭兴敏+ (北京科技大学冶金-9生态工程学院，北京100083) 囊要t传感器技术是与多种现代技术相关的--f-I尖端技术。传感器的发展程度直接影响着现代科学技术的进步。气体传感器在 工业中的应用日益广泛。简要介绍了六大类气体传感器的分类及国内外的最新进展，分析了目前气体传感器在工业应用中存在 的一些不足，最后探讨了气体传感器今后的发展趋势。 关健词：气体传感器；工业应用；发展趋势 中田分类号：TP212．2文献标识码：A文章编号：1000-4343(2010)-0799--06 传感器技术是一项当前世界令人瞩目的迅速发 气体种类和数量也不断增多。这些气体中有些是易 展起来的高新技术之一，也是当代科学技术发展的 燃易爆的气体、有些是毒性气体，他们的泄漏不仅 一个重要标志。气体传感器作为传感技术的一个重 污染环境，而且易产生爆炸、火灾及使人中毒等恶 要分支，同样受到人们的广泛关注。我国在上世纪 性事件。同时生活水平的不断提高，液化石油气、 50年代已有相关方面的研究，国际上气体传感器起始 天然气及城市煤气作为家庭用燃料也迅速普及，由 于始于上世纪20年代的催化燃烧气体传感器。20世 于这些气体的泄漏严重威胁人们生命财产安全。因 纪中叶，人们发现半导体膜具有气敏效应，1962年 此，对这些气体做出快速准确的检测和十分必要的。 日本人清山哲郎发现了氧化物半导体薄膜的气敏效 这样就迫使一些新型的气体传感器应运而生，如红 应Il】，并于同年研制出了第一只ZnO半导体薄膜气 外气体传感器(可检测CO，C02等)、电化学式13”一 体敏感元件。随后，人们发现在Sn021撕1烧结体中 添加Pt和Pd等贵金属作增感剂，对检测可燃性气 体是有效的，并采取一些措施，克服了机械强度和 等等。另一方面，随着科技的发展，气敏元件可与 稳定性等在实际应用方面的不足。1968年，半导体 大规模集成电路、计算机等结合起来，应用于各种 气体敏感元件在日本投入市场，使半导体气体敏感 机器的控制，公害的防止、汽车燃料的空燃比等方 元件得到了迅速发展。此后，人们又研制了其它材 面，而且其应用领域正在不断扩展，同时也促进了 气体传感器的发展。 料的半导体气体敏感元件，如Fe203，ZnSn03，W03， h1203，Nb205等，以及有机材料的气体敏感元件，从毫不夸张地说，如果没有传感器及其技术将没 而开辟了气体敏感元件的新天地。 有现代科学技术的迅速发展【_71。 进入20世纪80年代以来，随着现代科学技术 1气体传感器的分类 的飞速发展，特别是大规模集成电路技术的发展和 在国家标准GB／T／665．1987《传感器通用术语》 微型计算机的普及，使传感器在技术革命中的地位 中，传感器被定义为：“能感受规定的被测量并按照 和作用越来越突出。这一方面是因为随着科学技术 一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由 的发展，工业生产规模逐渐扩大，产品种类不断增 敏感元件和转换元件组成。其中，敏感元件是指传 多，在生产中使用的气体原料和生产过程中产生的 感器中能直接感受或响应被测量的部分；转换元件 收藕日期：2009-09．10；tlcrEt飘：2009-12-05 基金顶昱：国家自然科学基金项目资助和‘863计划项且资助(2006AA062125) 作者俺介：党恒耀(1984-)，男，博士研究生 。曩讯联曩人(E-mail：$uoxm@metall．uatb．extu．cn) 中国稀土学报