氟材料及涂层在电子方面与应用.pdfVIP

功能性氟硅材料及应用 氟材料及涂层在电子方面的应用 林安”，黄澄华2，甘复兴1，李闽1，李训生：，金广泉2，龙光斗2 (1武汉大学资源与环境学院，武汉430072：2湖北中科博策新材料研究院，武汉430034) 摘要：介绍了氟材料及涂料附着力强、耐化学腐蚀、耐高温、耐老化、耐油耐水的特点，及含氟 材料及其涂层在电子方面的应用。本文重点阐述—含氟聚酰胺及其涂层在微电子等电子工业领域上 的应用与发展。 关键词：氟材料：氟涂料；含氟聚酰胺；微电子 前言 近年来电予技术的不断发展，越来越多的新材料、新工艺应用到电子产品的生产制造当中。同时， 由于电子产品使用的范围越来越广，使用寿命越来越长，使得电子产品寿命期内可能经受的环境越来 越复杂，这就对电子产品的环境适应性提出了更高的要求。氟材料及涂料的出现解决了其他材料常有 的性能失效问题，成为电子工业中不可缺少的涂料。通过氟改性聚酰亚胺(PI)是目前在电子工业应 用最广，代表性最强含氟材料。 1 含氟聚酰胺及其涂层的应用 聚酰亚胺(PI)可以说是目前电子化学品中最有发展前途的有机高分子材料之一。其优异的综合 性能可满足微电子工业对材料的苛刻要求，因此得到了广泛的重视。目前PI在微电子工业中的应用 主要包括如下几个方面，芯片表面的钝化与封装材料、a一粒子屏蔽材料、多层布线的层间绝缘材料 和用于制图、通孔的光致抗蚀剂材料、柔性印制电路板的基体材料以及液晶显示器件的取向膜材料 等‘引。 针对标准型PI材料存在的一些缺陷，人们对其进行了大量的改性工作。其中将氟及含氟取代基引 入到PI的分子结构中是最为有效的措施之一H1，氟原子独特的物理化学性质，如较大的电负性、较小 的原子半径、较低的摩尔极化率等可在不牺牲(甚至有所提高)PI优良综合性能的同时赋予其许多独 特的性质。例如，氟原子较大的电负性，可以切断P1分子结构中电子云的共轭，因此制品的颜色很浅。 其较强的疏水性使PI制品的吸湿率很低，而其较低的摩尔极化率使PI的介电常数较低等，因此成为 各国科学家研究的热点话题晦叫1。从理论上讲，含氟PI可以应用于任何使用标准型PI的领域。除此以 外其还可应用于某些标准型PI所无法胜任或应用受到限制的领域，如在光通讯领域内用作光波导材 路元器件封装中用作低介电常数涂层等。现将含氟PI材料在这些领域中的应用进行详细的介绍。 1．1 含氟PI在光波导材料中的应用 随着通讯技术的快速发展，对于高频率、高容量、高带宽、高速度、高密度信息传播技术的需要 越来越强烈。以光纤网络为代表的光纤通讯正在迅速发展，并将逐步取代传统的电缆通讯。对于各种 硅基半导体材料上完成的。近年来，关于聚合物光波导材料的开发研究日益受到人们的重视。与传统 的无机光波导材料相比，有机聚合物光波导材料具有如下特点：(1)较高的电光耦合系数：较低的介电 常数：较短的响应时间和较小的热损耗：(2)加工工艺简单经济，无须高温加热处理，只要通过匀胶、光 刻等工艺即可制得复杂的光电集成器件，而且器件具有轻巧、机械性能好的特点，适用于制作大型光 第七届全国功能性氟硅材料和涂料市场开发及应用“瓮福蓝天杯”技术研讨会 ll 功能性氟硅材料及应用 学器件和挠性器件。目前研究较多的聚合物光波导材料包括氟代、氘代的聚甲基丙烯酸甲酯、含氟 聚酰亚胺、含氟聚芳醚以及聚硅氧烷等”。。 含氟聚酰亚胺不仅具有传统聚酰亚胺材料所具有的耐高温、耐腐蚀、机械性能优良等性质，而且 还具有溶解性能优异、低介电常数、低吸水率、低热膨胀系数等特性，因此非常适于制造光波导材料。 均苯四甲酸二酐(PMDA)作为二酐单体，Z2’_双(三氟甲基)一4，4’一二胺基联苯(TFDB)作为二胺单体， 通过共缩聚反应首先制得聚酰胺酸，然后在350℃的高温下于氮气中进行热亚胺化而得到的。其 温度为400℃，吸湿率为0．7％，折射率为／Iss。·e。=。1．647。前者的含氟量高，在近红外波段的透射率高， 而后者的热膨胀系数小。FLUPI的折射率与双折射率可通过调解二者的比例来实现。在FLUPI中随着F 含量的变化，折射率与双折射率都在变化，这会造成偏振损耗增大。为了克服这一困难，又开发了 此解决了折射率变化的问题，为设计低偏振损耗波导材料提供了方便。FLUPl2PF是一种全氟结构PI， Ilm处存在微小的口c—r吸收，实现了在通讯近红外波段基本无吸收。 其吸收光谱中仅在1165 1．2含