光束质量测试系统等效焦距的测试方法.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 光束质量测试系统等效焦距 的测试方法 解 平，谢川林，关有光 （中国工程物理研究院 应用电子学研究所，四川 绵阳 621900 ） 摘要 ：利用小孔法测量光束质量测试系统中采集系统的单元图像尺寸，在此基础上 ，给 出了利 用 CCD 探测器快速测试光束质量测试系统等效焦距 的测试方法，并与系统的设计指标进行 了对 比。 关键词：小孔； 光栅； 单元图像尺寸； 等效焦距 中图分类号：O4 36.1 文献标识码 ：A 文章编号：1007-2276(2008)增(几何量)-0263-04 Test meth ods of equ ivalent focu s length for laser b eam qu ality measur ement system XIE Ping, XIE Chuan-lin, GUAN You-guang (Institute of Applie d Ele ctr onics, Chi na Ac ademy of Engineer ing Physic s, Mianyang 62 1900, China) Abst r act: The measurement method of unit image size and equivalent focu s lengt h of laser b eam quality measurement system is given, whi ch use CCD detector to fast test beam diffraction limit. And the test results is given. Key word s: Little hole; Grating, unit image size; Equivalent focus length 0 引 言 输 出的模拟信号经采集卡进行 A/D 转换，由图像采 集处理软件[2] 将图像分割，最大显示为 m ×n 个图像 光束质量是评价激光器的一个重要指标 ，在评 单元，定义采集系统的分辨率为软件分辨率设置为 价光束质量的众多参数 中衍射极限方法是数据测试 1×1 时的最小图像单元。该单元图像尺寸是测量光 时工作量最少 的方法，而 CCD 测试法是实验室中 斑计算光束宽度 的基本单位，是系统标定的一个关 常用来测量光束宽度的简便方法[1] 。由CCD 相机把 键参数 。 接收的光信号转换为电信号，配 以图像采集卡和计 采用平行光垂直通过小孔直接获取饱和光斑 图 算机 ，可 以快速得到所需的激光参数 。 像 的方法测试采集系统的单元 图像尺寸，即小孔标 光束质量测试系统在使用前需对采集系统的单 定法。实验光路图如图 1 所示，设 图 1 中小孔 的直 元图像尺寸和系统的等效焦距进行测试。 1 用小孔方法测试采集系统的图像单元尺寸 采集系统包含 CCD 探测器和采集卡、处理软 图 1 小孔法测试系统单元图像尺寸的示意图 件。由于采集系统的探测器为模拟相机，