基于微机电系统工艺的微型左右手复合传输线宽带滤波器.pdfVIP

第44卷第 11期 机 械 工 程 学 报 v0l_44No．11 2008年 11月 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING Nov． 2008 DoI：1O．3901，JM哐．2008．11．059 基于微机 电系统工艺的微型左右手 复合传输线宽带滤波器木 黄 闯 ，2 陈 迪 ，2 靖向萌 ，2 陈 翔 ，2 刘景全 ，2 朱 军 2魏文婕 魏泽勇 李宏强 (1．上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海 200240； 2．上海交通大学微纳科技研究院 上海 200240； 3．同济大学物理系 上海 200092) 摘要：设计并采用微机电系统工艺加工制备了一种微型左右手复合传输线宽带滤波器。器件主要结构由两条平行的金属蛇形 线构成，蛇形线的末端接有金属圆片作为接地单