锌离子掺杂的氧化钛薄膜的湿敏性能研究.pdfVIP

第六届中国纳米科技西安研讨会论文集 锌离子掺杂的氧化钛薄膜的湿敏性能研究 侯燕飞1，史志铭1，宋丽丽2，李巴津2，金丽娜1，闰龙1 (I内蒙古工业大学材料科学与工程学院2内肇古工业大学信息工程学院。 内蒙古呼和浩特0|0051) 摘要：本文采用溶胶一凝胶法在印有械状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量锌离子掺杂的氧化钛薄 膜，通过烧结制得一系列湿敏元件．研究了锌离子掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响． 研究结果发现．鞍低的工作频率下元件的湿度敏感性能较好．随着锌掺杂置的增加．湿敏性能降低，表现 在湿度敏感点升高，阻抗随湿度的变化幅度减小．相嘲掺杂量下。随若饶结温度的升高，元件的湿敏性能 呈现先改善后惑化的趋势． 关键词：氧化钛；薄膜；湿度敏感；离子掺杂 1引言 性能。且在铝掺杂氧化锌薄膜上覆盖二氧化钛薄膜．在500℃烧结得到的复合薄膜湿敏传感 器，其湿滞现象小、线性度好、灵敏度较高。 湿敏陶瓷的感湿机理为接触粒界势垒理论和质子导电理论[6】。前者适于低湿情况 值较大．湿度灵敏度较低。而掺杂离子能引起晶体能带畸变，从而导致材料导电性能的变化， 故利用离子掺杂改性和l探索氧化钛基复合新材料成为解决此类问题的主要措施。另外。细化 晶粒可以使薄膜中品界面积增加，这为游离氢离子的生成、表面吸附和表面扩散提供更多机 会．进而能有效提高薄膜湿敏元件的导电性。 氧化锌是一种典型的半导体材料【7，81。本试验采用溶胶一凝胶法【9。10】制备锌离子掺杂 的氧化钛薄膜湿敏元件．研究工作频率、离子掺杂量和烧结温度对薄膜湿敏性能的影响。 2试验方法 2．1湿敏元件制各 表I试样的公髂化学成分，wt％ 采用钛酸四丁酯、硝酸锌、无水乙醇和盐酸为原料。将钛酸四丁酯与无水乙醇按l：4 混合．搅拌15min。按掺杂比例(如表1)称取硝酸锌．将其溶于一定量无水乙醇中，充分 搅拌．随后将其加入到已水解的钛酸四丁酯溶胶中，搅拌15rain并滴加少许盐酸，得到淡黄 作青t史志铭：国家自然科学肇金项11资助． 第六届中国纳米科技西安研讨会论文集 色Ti02复合溶胶．空气中密封静置陈放48小时．采用提拉法在印有梳状银电极【5，11】的石 英玻璃基板上镀膜，均匀涂敷后，将基板在100(2下干燥30分钟，随后分别在300℃，4000、 5000，600C和700℃下煅烧l小时，制得多个湿敏元件。 2．3湿度铡试 试验装置如图l所示-在室温下，在湿度范围旺97RH％内共选择九个不同湿度点作 为测试点·使用LCR测量仪(ZL5型，浩顺科技有限公司)对其阻抗值进行测量，测试频 —2型数字式湿度一温度测量仪进行标定。 图I．湿敏元件及测量装置 3试验结果 3．1纯氧化钛薄膜的湿敏特性 RH％ (a)0．OIkHz (b)lkHz RH％ (c)100kHz 图2不同烧结温度，不同测试频率下0ZT试样的湿敏特性 图2为不同烧结温度的OZT试样在不同测试频率下的阻抗随湿度变化图。由图可知， 第六届中国纳米科技西安研讨会论文集 在低湿、低频下。所有湿敏元件的阻抗值均较大．随着测试频率的增加．湿敏元件的阻抗值 均随之减少．但频率越高，阻抗随湿度变化率越小，湿度灵敏性越差。频率由0．01kHz升高 到100kHz，阻抗随湿度变化率约由66％卜．降到20％．从低湿向高湿变化过程中。在一定湿 度范围内(低、中等湿度)。阻抗值基本不随湿度变化．随频率增加．湿度响应点向高湿方 向移动。因此可以看出．降低频率有利于提高薄膜的湿度敏感性． 在300C烧结．试样在整个湿度范围几乎没有响应；当400℃烧结时．在低频高湿环境 下对湿度有轻微响应；500C烧结时．试样的湿度响应显著；而当600C烧结时，湿度响应 重新变差：烧结温度继续升高．元件的感湿性能基本丧失．由此可以看出。0