溶胶-凝胶法引入添加剂制备低温烧结CaO-MgO-SiO2微波陶瓷.pdfVIP

第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．37，Suppl．2 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERING 2008 2008年 5月 May 溶胶一凝胶法引入添加剂制备低温烧结 CaO．MgO—SiOz微波陶瓷 ． 孙慧萍1，张启龙1，杨辉1,2邹佳丽1 (1．浙江大学材料科学与工程学院，浙江杭州310027) (2．浙江大学绿色建材与应用技术工程研究中心，浙江杭州310027) 摘要：采用溶胶．凝胶法引入烧结助剂制备了低温烧结CaO．MgO．Si02微波陶瓷，研究了材料烧结性能和介电性能。 粉体表面形成均质凝胶。凝胶体在750℃热处理所得粉体在840,--900℃致密烧结，与固相法引入烧结助剂相比，粉体 具有的较宽的烧结温度范围，烧结后陶瓷具有更高的相对密度和Q厂值。在880℃保温2h烧结试样的介电性能：轳6．96， GHz。 Qf=35690 关键词：溶胶．凝胶法：低温烧结；介电性能；柠檬酸盐 146．4 文献标识码：A 中图法分类号：TG 文章编号：1002—185X(2008)S2·533—04 制备出性能优良并能与银电极共烧的微波介质陶瓷。 1 引 言 2 实验 随着移动通信技术的发展，通讯整机朝着小型化、 集成化、高频化和低成本方向发展，微波介质频率元 溶胶．凝胶法制备CMS试样的流程如图1所示。用 件也急需实现小型化、集成化、高频化和低成本化， 实现这一目标的重要途径是采用多层集成电路 技术【1’2】。微波元器件的多层化、需要微波介质材料能 采用乙醇作助磨剂，选用氧化锆球作磨球，滚动球磨 混料24h，烘干，在1100℃预烧4h，将预烧料粉碎备 与高电导率金属电极如Pt、Pd、Au、Cu、Ag等共烧， 用(简称CMS粉体)。 从经济性和环境角度考虑，使用熔点较低的Ag(961℃) 和Cu(1064℃)等贱金属作为电极最为理想，这就需要 能与Ag和Cu电极共烧的低温烧结微波陶瓷材料【3~51。 通常有3种降低材料烧结温度的方法：(1)加入低熔点 玻璃或氧化物作为烧结助剂。(2)采用化学合成工艺。 (3)降低原料粉的粒度，提高粉料的烧结活性【6】。 成透明溶液。将2种溶液混合，在搅拌的同时缓慢滴入 以硅灰石为主晶相的陶瓷材料由于具有介电常数 柠檬酸水溶液。随着柠檬酸的滴入，混合液由浅黄色 低，品质因数高等特点，引起了材料工作者的广泛兴 成蓝色透明溶胶。静置20h，使其充分均匀化。 趣【7l。蔡伟等【8】通过在添加过量Si02和粘土作为烧结助 剂，于1170～1230℃烧结得到硅灰石瓷基板材料，其将CMS粉体加入该溶胶中，并持续搅拌使其分散 均匀，直至形成胶凝体。胶凝体在110℃烘干，然后 介电性能：岛为7．o~9．0，t驴为(1．O～5．0)x10_。课题组 采用2 在750℃热处理2h，得到的粉料经粉碎、烘干，加 mol％Zn2+取代CaSi03中的ca2+，以B203作为烧 5％PVA造粒，在200